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ロールナノインプリント法による金属ナノ構造転写技術の確立

研究課題

研究課題/領域番号 25420067
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京理科大学

研究代表者

谷口 淳  東京理科大学, 基礎工学部, 教授 (40318225)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2015年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2013年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワードナノインプリント / 銀インク / 光硬化性樹脂 / ロール技術 / 金型 / レプリカモールド / 離型性 / 積層構造 / ロールナノインプリント / 金属転写 / モスアイ構造 / ナノ配線 / 反射防止構造 / プラズモン
研究成果の概要

ロールナノインプリント法により、プラスチック基板上への金属ナノ構造転写技術の確立を行った。具体的には、樹脂製のレプリカモールドを作製し、このパターンの底部にのみ銀インクを残し、この部分を光硬化樹脂で取ることで、プラスチック基板上に絶縁分離された金属のナノパターンの作製が可能となった。使用した技術は、ロール動作と液体分離による余分な銀インクや樹脂の除去である。この結果、転写速度が10 m/minと高速の場合でも、100nmを切る銀ナノパターンを作製できた。さらに、ロールプレス法による金属ナノパターン積層技術を開発し、10層の積層構造が可能となった。また、プラズモンによる発光も確認した。

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Stacking of nanoscale metal dot array using liquid transfer imprint lithography with roll press2015

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Tsuji, Jun Taniguchi
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 141 ページ: 117-121

    • DOI

      10.1016/j.mee.2015.02.008

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Removal of residual layer by liquid transfer imprint lithography using roll-to-roll UV-NIL2015

    • 著者名/発表者名
      Masatoshi Moro, Jun Taniguchi
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 141 ページ: 112-116

    • DOI

      10.1016/j.mee.2015.01.040

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanoscale metal pattern-transfer technique using silver ink2014

    • 著者名/発表者名
      Ryuichi Wakamatsu, Jun Taniguchi
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 123 ページ: 94-99

    • DOI

      10.1016/j.mee.2014.05.021

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of antireflection structure film by roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography2014

    • 著者名/発表者名
      Masatoshi Moro, Jun Taniguchi, and Shin Hiwasa
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 32 号: 6

    • DOI

      10.1116/1.4901877

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of self-supporting antireflection-structured film by UV-NIL2013

    • 著者名/発表者名
      Nurhafizah Binti Abu Talip[a]Yusof, Jun Taniguchi
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 110 ページ: 163-166

    • DOI

      10.1016/j.mee.2013.03.041

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of high-aspect-ratio pattern via high throughput roll-to-roll2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Yoshikawa, Jun Taniguchi, Go Tazaki, Toshiyuki Zento
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 112 ページ: 273-277

    • DOI

      10.1016/j.mee.2013.03.117

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Metallic antireflection structure made from silver ink using liquid transfer imprint technique2015

    • 著者名/発表者名
      Tomoya Uchida, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
    • 学会等名
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
    • 年月日
      2015-11-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of isolated metal dot pattern in hole features using roll to roll machine and silver ink2015

    • 著者名/発表者名
      Kai Ojima, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi
    • 学会等名
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
    • 年月日
      2015-11-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Stacking of nanoscale metal dot array using liquid transfer imprint lithography with roll press2014

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Tsuji, Jun Taniguchi
    • 学会等名
      40th Micro and Nano Engineering
    • 発表場所
      Lausanne, Switzerland
    • 年月日
      2014-09-22 – 2014-09-26
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Fabrication of Plasmonic Color Filters by Nanoprint lithography using Silver Ink2013

    • 著者名/発表者名
      Ryuuichi Wakamatsu, Jun Taniguchi
    • 学会等名
      39th International Conference on Micro and Nano Engineering
    • 発表場所
      London, UK
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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