| 研究課題/領域番号 |
25420072
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 静岡理工科大学 |
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研究代表者 |
大塚 二郎 静岡理工科大学, その他部局等, 教授 (30016787)
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| 研究分担者 |
野崎 孝志 静岡理工科大学, 理工学部, 准教授 (20548888)
十朱 寧 静岡理工科大学, 理工学部, 教授 (60288404)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2014年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
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| キーワード | 位置決め / ボールねじ / 振動抑制 / 熱膨張抑制 / ナノメーター / ナノレベル / 熱膨張 / 微振動 / 圧電素子 / 冷却 / 位置決め装置 / 熱変形抑制 / サーボモーター制御 / ナノ位置決め / 水・油冷却 |
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| 研究成果の概要 |
（１）高精度位置決め装置を完成させ、制御実験を行った結果、分解能がナノレベル(50nm)を有することが分かった。
（２）熱膨張抑制研究では、ナットに取り付けられる高冷却性の水ジャケットを設計・製作した上、冷却実験を行ったところ、二条状水ジャケットの冷却性性能が高く、ボールねじ300mmでの熱膨張は2.3μ程度だった。
（３）振動抑制研究では、ボールねじのチューブに圧電素子を装着し，アクティブ制振を行っ成果、ボールねじチューブの振動（1.85kHz付近）を抑制することができた．また、ナットの送り速度が10[mm/s]~50[mm/s]では、チューブの変位量が0.1[μm]未満であるとわかった。
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