| 研究課題/領域番号 |
25420112
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
流体工学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
真田 俊之 静岡大学, 工学部, 准教授 (50403978)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2015年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2014年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2013年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
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| キーワード | PVAブラシ / 摩擦 / 表面濡れ性 / 洗浄 / 濡れ性 / 半導体洗浄 |
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| 研究成果の概要 |
柔軟な多孔質体で水を十分に保有することができる超親水性PVAブラシと表面との相互作用について調査し、その接触状況と不純物除去メカニズムについて調査を行った。その結果、ブラシと表面は高い摩擦係数を示し、表面と局所的に接触していること、その摩擦力が表面の濡れ性や移動速度に依存することを明らかにした。接触しているため、条件によってはスティックスリップ現象を示した。また、強固な付着力を有するパーティクルの除去試験を行い、PVAブラシは液滴衝突よりも高い除去率を示し、局所的な接触が不純物除去に大きな役割を果たすことが示唆された。
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