• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

TEM-STMその場計測による抵抗変化メモリの動作機構解明

研究課題

研究課題/領域番号 25420279
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関北海道大学

研究代表者

有田 正志  北海道大学, 情報科学研究科, 准教授 (20222755)

研究分担者 高橋 庸夫  北海道大学, 大学院情報科学研究科, 教授 (90374610)
末岡 和久  北海道大学, 大学院情報科学研究科, 教授 (60250479)
柴山 環樹  北海道大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10241564)
研究協力者 工藤 昌輝  
大野 裕輝  
高橋 謙仁  
平田 周一郎  
村上 暢介  
越智 隼人  
米坂 瞭太  
武藤 恵  
中根 明俊  
廣井 孝弘  
勝村 玲音  
森 雄司  
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2013年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
キーワード抵抗変化メモリ / 電子顕微鏡 / 電子・電気材料 / 電子デバイス・機器 / ナノ材料
研究成果の概要

抵抗変化メモリ(ReRAM)がbeyond CMOSを目指して研究・開発されている.その動作原理の解明は最重要課題であり,電気化学に基づくモデルの提唱はあるが,不明な点が多い.本研究では,その場透過電子顕微鏡法により金属フィラメント型ReRAM内の微細構造を実時間観察した.その結果,高抵抗⇔低抵抗(Set,Reset)の動作時には大きな変化はなく,追加の通電により大きな構造変化の生じる事が分かった.ナノ領域での変化が抵抗スイッチに寄与している.大きな構造変化はスイッチ箇所の不安定化,金属イオンの固溶を促進し,劣化を生じた.Set,Reset時の投入電力バランスが安定動作に重要であると言える.

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (102件)

すべて 2016 2015 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (22件) (うち国際共著 2件、 査読あり 19件、 謝辞記載あり 11件、 オープンアクセス 3件) 学会発表 (79件) (うち国際学会 10件、 招待講演 9件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Switching of Cu/MoOx/TiN CBRAM occurred at MoOx-TiN interface2016

    • 著者名/発表者名
      Masashi Arita, Yuuki Ohno, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi A

      巻: 213 号: 2 ページ: 306-310

    • DOI

      10.1002/pssa.201532414

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Switching operation and degradation of resistive random access memory composed of tungsten oxide and copper investigated using in-situ TEM2015

    • 著者名/発表者名
      Masashi Arita, Akihito Takahashi, Yuuki Ohno, Akitoshi Nakane, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 5 号: 1 ページ: 17103-17103

    • DOI

      10.1038/srep17103

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Visualization of conductive filament of ReRAM during resistive switching by in-situ TEM2015

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Takahashi, Masaki Kudo, and Masashi Arita
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 69 号: 10 ページ: 299-309

    • DOI

      10.1149/06910.0299ecst

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] The effect of pressure and W-doping on the properties of ZnO thin films for NO2 gas sensing2015

    • 著者名/発表者名
      T. Tesfamichael, C. Cetin, C. Piloto, M. Arita, J. Bell
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci.

      巻: 357A ページ: 728-734

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2015.08.248

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Filament erasure in Cu/MoOx ReRAM investigated by in-situ TEM2015

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, Y. Ohno, A. Tsurumaki-Fukuchi, Y. Takahashi
    • 雑誌名

      Proc. 28th Internat. Microproc. Nanotech. Conf.

      巻: 2015

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Microstructural change in Cu/WOx/TiN during resistive switching2015

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, A. Takahashi, Y. Ohno, A. Nakane, A. Tsurumaki-Fukuchi, Y. Takahashi
    • 雑誌名

      Extended Abst. SSDM

      巻: 2015 ページ: 1162-1163

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Fe-doped WO3 films for NO2 sensing at lower2015

    • 著者名/発表者名
      T. Tesfamichael, C. Pilot, M. Arita, J. Bell
    • 雑誌名

      Sensors and Actuator B

      巻: 221 ページ: 393-400

    • DOI

      10.1016/j.snb.2015.06.090

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] TEMその場実験法による抵抗変化メモリ中の導電フィラメント解析2015

    • 著者名/発表者名
      有田正志,髙橋庸夫
    • 雑誌名

      半導体・集積回路技術第79回シンポジウム講演論文集

      巻: なし ページ: 21-24

    • NAID

      40020971153

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Visualization of Conductive Filament during Write and Erase Cycles on Nanometer-scale ReRAM Achieved by in-situ TEM2015

    • 著者名/発表者名
      M. Kudo, M. Arita, Y. Takahashi, K. Ohba, M. Shimuta, I. Fujiwara
    • 雑誌名

      Proc. 2015 IEEE 7th International Memory Workshop

      巻: 2015 ページ: 85-88

    • DOI

      10.1109/imw.2015.7150312

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Real-time Resistive Switching of Cu/MoOx ReRAM Observed in2014

    • 著者名/発表者名
      M. Kudo, Y. Ohno, T. Hiroi, T. Fujimoto, K. Hamada, M. Arita, Y. Takahashi
    • 雑誌名

      Proceeding of the 2014 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop

      巻: - ページ: 63-64

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] In-situ TEM Observation of ReRAM Switching2014

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Takahashi, Masashi Arita
    • 雑誌名

      Proceeding of the International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai

      巻: -

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Growth and Shrinkage of Conductive Filament in Cu/MoOx ReRAMs2014

    • 著者名/発表者名
      Masashi Arita, Yuuki Ohno, Masaki Kudo, Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2014 International Conference on Solid State Devices and Materials

      巻: - ページ: 416-417

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Filament formation and erasure in molybdenum oxide during resistive switching cycles2014

    • 著者名/発表者名
      Masaki Kudo, Masashi Arita, Yuuki Ohno, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 105 号: 17

    • DOI

      10.1063/1.4898773

    • NAID

      120005525227

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effect of nonstoichiometry on the half-metallic character of Co2MnSi investigated through saturation magnetization and tunneling magnetoresistance ratio2014

    • 著者名/発表者名
      G.-f. Li, Y. Honda, H.-x. Liu, K.-i. Matsuda, M. Arita, T. Uemura, M. Yamamoto, Y. Miura, M. Shirai, T. Saito, F. Shi and P. M. Voyles
    • 雑誌名

      Phys. Rev. B

      巻: 89 号: 1 ページ: 14428-14428

    • DOI

      10.1103/physrevb.89.014428

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Cu/MoOx抵抗変化メモリのスイッチ動作における導電フィラメントの直接観察2014

    • 著者名/発表者名
      大野裕輝,廣井孝弘,工藤昌輝,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 雑誌名

      信学技報

      巻: ED2013-148 ページ: 89-94

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Development of TEM Holder Generating In-Plane Magnetic Field Used for <i>In-Situ</i> TEM Observation2014

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, R. Tokuda, K. Hamada, Y. Takahashi
    • 雑誌名

      MATERIALS TRANSACTIONS

      巻: 55 号: 3 ページ: 403-409

    • DOI

      10.2320/matertrans.MD201310

    • NAID

      130004455276

    • ISSN
      1345-9678, 1347-5320
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation of resistance RAM samples for in-situ TEM experiments2013

    • 著者名/発表者名
      Masaki Kudo, Masashi Arita, Yuuki Ohno, Takashi Fujii, Kouichi Hamada, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 533 ページ: 48-53

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2012.10.102

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-situ TEM observation on Cu/MoOx resistive switching RAM2013

    • 著者名/発表者名
      M. Kudo, Y. Ohno, K. Hamada, M. Arita, Y. Takahashi
    • 雑誌名

      Proc. World Congr. ANBRE-13 (CD-ROM)

      巻: CD-ROM ページ: 492-497

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-situ TEM observation of gold nanogaps by electromigration2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, H. Ochi, M. Arita, K. Hamada, Y. Takahashi, S. Takeda
    • 雑誌名

      Proc. World Congr. ANBRE-13 (CD-ROM)

      巻: CD-ROM ページ: 622-627

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Double quantum dot Si single-electron transistor with multiple gate electrodes fabricated by PADOX2013

    • 著者名/発表者名
      T. Uchida, M. Arita, A. Fujiwara, Y. Takahashi
    • 雑誌名

      Proc. World Congr. ANBRE-13 (CD-ROM)

      巻: CD-ROM ページ: 498-503

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-situ TEM observation of Cu/MoOx ReRAM switching2013

    • 著者名/発表者名
      Masaki Kudo, Yuuki Ohno, Kouichi Hamada, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 58 (5) 号: 5 ページ: 19-25

    • DOI

      10.1149/05805.0019ecst

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-speed operation of Si single-electron transistor2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Takahashi, H . Takenaka, T. Uchida, M. Arita, A. Fujiwara, and H. Inokaw
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 58 号: 9 ページ: 73-80

    • DOI

      10.1149/05809.0073ecst

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Cu/WOx平面型抵抗変化メモリのTEMその場観察2016

    • 著者名/発表者名
      武藤 恵、米坂 瞭太、福地 厚、有田 正志、高橋 庸夫
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学・東京
    • 年月日
      2016-03-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 二層絶縁層を有するMoOx/Al2O3抵抗変化型メモリ動作のTEMその場観察2016

    • 著者名/発表者名
      平田 周一郎、高橋 謙仁、福地 厚、有田 正志、高橋 庸夫
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学・東京
    • 年月日
      2016-03-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 抵抗変化型メモリのアナログ的抵抗可変特性2016

    • 著者名/発表者名
      曹 民圭、勝村 玲音、福地 厚、有田 正志、高橋 庸夫、安藤 秀幸、森江 隆
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学・東京
    • 年月日
      2016-03-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Ta2O5を用いた抵抗変化型メモリの多値・アナログメモリ動作2016

    • 著者名/発表者名
      勝村 玲音、Gr&ouml;nroos Mika、福地 厚、有田 正志、高橋 庸夫、安藤 秀幸、森江 隆
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学・東京
    • 年月日
      2016-03-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 酸素欠陥型抵抗変化メモリにおける欠陥導入層の材料選択2016

    • 著者名/発表者名
      中川 良祐、福地 厚、有田 正志、高橋 庸夫
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学・東京
    • 年月日
      2016-03-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] (受賞講演)TEMその場観察を用いたCBRAM 繰り返し抵抗変化時のフィラメント観察2016

    • 著者名/発表者名
      工藤 昌輝、有田 正志、大野 裕輝、高橋 庸夫
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学・東京
    • 年月日
      2016-03-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Filament erasure in Cu/MoOx ReRAM investigated by in-situ TEM2015

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, Y. Ohno, A. Tsurumaki-Fukuchi, Y. Takahashi
    • 学会等名
      28th Internat. Microprocesses and Nanotechno. Conf
    • 発表場所
      Toyama International Conference Center, Toyama
    • 年月日
      2015-11-12
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Analog memory operation of resistance change memory with MOSFET for brain-like LSIs2015

    • 著者名/発表者名
      H. Ando, K. Tomizaki, T. Tohara, T. Morie, T. Hiroi, A. Nakane, R. Katsumura, A. Fukuchi, M. Arita, Y. Takahashi, S. Samukawa
    • 学会等名
      Twelfth Internat. Conf. on Flow Dynamics (ICFD 2015)
    • 発表場所
      Sendai Internat. Cent., Sendai
    • 年月日
      2015-10-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Switching operation in resistive RAM composed of solid electrolytes studied by in-situ TEM2015

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      3rd Internat. Multidisciplinary Microsc. and Microanal. Cong. (InterM 2015)
    • 発表場所
      Sentido Lykia Resort and Spa-Liberty Hotel Lykia Oludeniz, Turkey
    • 年月日
      2015-10-20
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Visualization of conductive filament of ReRAM during resistive switching by in-situ TEM2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Takahashi, M. Kudo, M. Arita
    • 学会等名
      224th ECS Meeting
    • 発表場所
      Phoenix Conv. Center, Arizona, USA
    • 年月日
      2015-10-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Microstructural change in Cu/WOx/TiN during resistive switching2015

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, A. Takahashi, Y. Ohno, A. Nakane, A. Tsurumaki-Fukuchi, Y. Takahashi
    • 学会等名
      SSDM
    • 発表場所
      Sapporo Convention Center, Sapporo
    • 年月日
      2015-09-29
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ReRAMの書込み・消去サイクルにおける導電性フィラメントのTEM内その場観察2015

    • 著者名/発表者名
      高橋 庸夫,工藤 昌輝,有田 正志,大場 和博,紫牟田 雅之,藤原 一郎
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場,名古屋
    • 年月日
      2015-09-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MOSFET上に集積化したCu-MoOx-Al抵抗変化型メモリのRESET時多値メモリ動作2015

    • 著者名/発表者名
      富崎 和正,安藤 秀幸,森江 隆,廣井 孝弘,中根 明俊,福地 厚,有田 正志,高橋 庸夫
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場,名古屋
    • 年月日
      2015-09-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Cu/WOx抵抗変化型メモリの繰返し動作と構造変化のTEMその場観察2015

    • 著者名/発表者名
      高橋 謙仁,大野 裕輝,工藤 昌輝,福地 厚,有田 正志,高橋 庸夫
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場,名古屋
    • 年月日
      2015-09-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Cuナノギャップを用いた平面型抵抗変化メモリのTEMその場観察2015

    • 著者名/発表者名
      米坂 瞭太,村上 暢介,福地 厚,有田 正志,高橋 庸夫
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場,名古屋
    • 年月日
      2015-09-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] アモルファスSrTiO3の欠陥構造と抵抗変化動作に対する電極金属の影響2015

    • 著者名/発表者名
      福地 厚,中川 良祐,勝村 玲音,有田 正志,高橋 庸夫
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場,名古屋
    • 年月日
      2015-09-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 単層Fe-MgF2 グラニュラー膜の微細構造と磁気特性2015

    • 著者名/発表者名
      本庄周作,横野示寛,有田正志,福地厚,海住英生,西井準治,高橋庸
    • 学会等名
      第39回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      名古屋大学,名古屋
    • 年月日
      2015-09-10
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Tunable coupling capacitance of double quantum dot by an electric field2015

    • 著者名/発表者名
      T. Uchida, H. Sato, A. Tsurumaki-Fukuchi, M. Arita, A. Fujiwara, Y. Takahashi
    • 学会等名
      Silicon Quantum Electronics Workshop 2015
    • 発表場所
      Kagawa Internat. Conf. Hall, Takamatsu
    • 年月日
      2015-08-03
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] TEMその場実験法による抵抗変化メモリ中の導電フィラメント解析2015

    • 著者名/発表者名
      有田正志,髙橋庸夫
    • 学会等名
      半導体・集積回路技術第79回シンポジウム
    • 発表場所
      早稲田大学,東京
    • 年月日
      2015-07-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Series-triple quantum dots fabricated under each control gate by the use of thermal oxidation2015

    • 著者名/発表者名
      Uchida, H. Sato, A. Tsurumaki-Fukuchi, M. Arita, A. Fujiwara, Y. Takahashi
    • 学会等名
      2015 Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 発表場所
      Rihga Royal Hotel Kyoto, Kyoto
    • 年月日
      2015-06-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Visualization of Conductive Filament during Write and Erase Cycles on Nanometer-scale ReRAM Achieved by in-situ TEM2015

    • 著者名/発表者名
      M. Kudo, M. Arita, Y. Takahashi, K. Ohba, M. Shimuta, I. Fujiwara
    • 学会等名
      2015 IEEE 7th International Memory Workshop
    • 発表場所
      Hyatt Regency Hotel, Monterey, CA, USA
    • 年月日
      2015-05-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Switching operation of WOx ReRAMs with Cu top electrodes investigated by in-situ TEM2015

    • 著者名/発表者名
      A. Takahashi, M. Arita, Y. Ohno, M. Kudo, A. Nakane, A. Tsurumaki-Fukuchi, Y. Takahashi
    • 学会等名
      EMRS 2015 Spring Meeting
    • 発表場所
      Lille Grand Palais, Lille, France
    • 年月日
      2015-05-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] In-situ transmission electron microscopy of Cu/MoOx CBRAM2015

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, Y. Ohno, M. Kudo, Y. Murakami, A. Tsurumaki-Fukuchi, Y. Takahashi
    • 学会等名
      EMRS 2015 Spring Meeting
    • 発表場所
      Lille Grand Palais, Lille, France
    • 年月日
      2015-05-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 平面型抵抗変化メモリにおける導電性フィラメントと抵抗変化のTEMその場観察2015

    • 著者名/発表者名
      村上暢介,米坂瞭太,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第71回学術講演会
    • 発表場所
      国立京都国際会館,京都
    • 年月日
      2015-05-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] TEMその場観察法によるCu/MoOx/Al2O3抵抗変化型メモリの特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      平田周一郎、高橋謙仁、工藤昌輝、廣井孝弘、中根明俊、福地厚、有田正志、高橋庸夫
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南(神奈川県・平塚市)
    • 年月日
      2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Cu系CBRAMにおける熱処理の影響2015

    • 著者名/発表者名
      中根明俊、勝村玲音、廣井孝弘、福地厚、有田正志、高橋庸夫
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南(神奈川県・平塚市)
    • 年月日
      2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] MOSFET挿入による抵抗変化型メモリの抵抗制御2015

    • 著者名/発表者名
      廣井孝弘、中根明俊、勝村玲音、福地厚、有田正志、高橋庸夫、浦邊大史、安藤秀幸、森江 隆
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南(神奈川県・平塚市)
    • 年月日
      2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] MOSFET上に集積化したCu-MoOx-Al抵抗変化型メモリのアナログメモリ動作2015

    • 著者名/発表者名
      浦邊 大史、富崎和正、安藤秀幸、森江隆、廣井孝弘、中根明俊、福地厚、有田正志、高橋庸夫
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南(神奈川県・平塚市)
    • 年月日
      2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] MOSFETを接続した抵抗変化型メモリのスイッチ特性の向上2015

    • 著者名/発表者名
      廣井孝弘, 中根明俊, 福地厚, 有田正志, 高橋庸夫, 浦邊大史, 安藤秀幸, 森江隆
    • 学会等名
      第50回応用物理学会北海道支部学術講演会
    • 発表場所
      旭川市勤労者福祉会館(北海道・旭川市)
    • 年月日
      2015-01-10
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] エレクトロマイグレーションによるCuナノギャップ電極の作製と応用2014

    • 著者名/発表者名
      米坂瞭太,越智隼人,村上暢介,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2014-09-19
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Cu/MoOx/TiN ReRAMの初期スイッチ過程における導電フィラメント2014

    • 著者名/発表者名
      有田正志,大野裕輝,工藤昌輝,高橋庸夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2014-09-17
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Growth and Shrinkage of Conductive Filament in Cu/MoOx ReRAMs2014

    • 著者名/発表者名
      Masashi Arita, Yuuki Ohno, Masaki Kudo, Yasuo Takahashi
    • 学会等名
      The 2014 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center (Tsukuba, Japan)
    • 年月日
      2014-09-09
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Evolution of conductive filaments in Cu/MoOx CBRAM observed by means of in-situ TEM2014

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, Y. Ohno, M. Kudo, Y. Takahasi
    • 学会等名
      6th IEEE Internat. Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      Hokkaido University (Sapporo, Japan)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Study on in-situ TEM observation of WOx ReRAMs with Cu top electrodes2014

    • 著者名/発表者名
      A. Takahashi, Y. Ohno, M. Kudo, A. Nakane, M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      6th IEEE Internat. Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      Hokkaido University (Sapporo, Japan)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Switching chracteristics of Cu-MoOx ReRAM2014

    • 著者名/発表者名
      T. Hiroi, A. Nakane, T. Fujimoto, M. Arita, H. Ando, T. Morie, Y. Takahashi
    • 学会等名
      6th IEEE Internat. Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      Hokkaido University (Sapporo, Japan)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Real time transmission electronmicroscopy observation of Cu/MoOx ReRAMs2014

    • 著者名/発表者名
      M. Kudo, Y. Ohno, T. Hiroi, K. Hamada, M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      6th IEEE Internat. Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      Hokkaido University (Sapporo, Japan)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Fabrication of Cu nanogaps by electromigration and its application2014

    • 著者名/発表者名
      T. Yonesaka, H. Ochi, Y. Murakami, M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      6th IEEE Internat. Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      Hokkaido University (Sapporo, Japan)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] In-situ observation of electromigration-induced atomic steps movement2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, R. Yonesaka, K. Hamada, M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      6th IEEE Internat. Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      Hokkaido Univ., Hokkaido University (Sapporo, Japan), Japan
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Magnetoresistance and microstructure of Fe-MgF2 single layer granular films2014

    • 著者名/発表者名
      T. Yokono, E. Sato, Y. Murakami, M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      6th IEEE Internat. Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      Hokkaido University (Sapporo, Japan)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] In-situ TEM Observation of ReRAM Switching2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Takahashi, M. Arita
    • 学会等名
      2014 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai
    • 発表場所
      Ryukoku University Avanti Kyoto Hall (Kyoto, Japan)
    • 年月日
      2014-06-20
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Real-time Resistive Switching of Cu/MoOx ReRAM Observed in2014

    • 著者名/発表者名
      M. Kudo, Y. Ohno, T. Hiroi, T. Fujimoto, K.
    • 学会等名
      The 2014 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 発表場所
      Hilton Hawaiian Village (Honolulu, HI USA)
    • 年月日
      2014-06-09
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Dynamical observation of Cu/MoOx resistive RAM2014

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, Y. Ohno, M. Kudo, Y. Murakami, Y. Takahashi
    • 学会等名
      EMRS 2014 Spring Meeting
    • 発表場所
      Lille Grand Palais (Lille, France)
    • 年月日
      2014-05-28
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Cu/MoOx抵抗変化メモリのTEMその場観察2014

    • 著者名/発表者名
      有田正志,大野裕輝,工藤昌輝,高橋庸夫
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第70回学術講演会
    • 発表場所
      幕張メッセ(千葉県・千葉市)
    • 年月日
      2014-05-11
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 透過型電子顕微鏡による結晶粒界近傍のエレクトロマイグレーションその場観察

    • 著者名/発表者名
      村上 暢介、越智 隼人、浜田 弘一、有田正志、高橋 庸夫、竹田 精治
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第69回学術講演会
    • 発表場所
      ホテル阪急エキスポパーク(吹田)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 抵抗変化メモリー用NiO薄膜のTEMその場観察

    • 著者名/発表者名
      有田正志,藤井孝史,浜田弘一,高橋庸夫
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第69回学術講演会
    • 発表場所
      ホテル阪急エキスポパーク(吹田)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] MoOx抵抗変化メモリにおけるスイッチ動作のTEMその場観察

    • 著者名/発表者名
      大野 裕輝,工藤 昌輝,浜田 弘一,有田 正志,高橋 庸夫
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第69回学術講演会
    • 発表場所
      ホテル阪急エキスポパーク(吹田)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Double-dot Si single-electron transistor with tunable coupling capacitive by the number of electrons in the dot

    • 著者名/発表者名
      T. Uchida, H. Takenaka, I. Yoshioka, M. Arita, A. Fujiwara, Y. Takahashi
    • 学会等名
      2013 Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 発表場所
      Rhiga Royal Hotel Kyoto (Kyoto)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Excited states of double-gate Si single-electron transistors in the few electron regime

    • 著者名/発表者名
      I. Yoshioka, T. Uchida, M. Arita, A. Fujiwara, Y. Takahashi
    • 学会等名
      2013 Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 発表場所
      Rhiga Royal Hotel Kyoto (Kyoto)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Observation of Resistive Switching on Cu/MoOx ReRAMs using the in-situ TEM method

    • 著者名/発表者名
      M. Kudo, Y. Ohno, K. Takamizawa, K. Hamada, M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference
    • 発表場所
      Makuhari Messe (Chiba)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] The Action of the Grain Boundary to the Narrowing Rate of Gold Nanowires by Electromigration

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, H. Ochi, M. Arita, K. Hamada, Y. Takahashi
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference
    • 発表場所
      Makuhari Messe (Chiba)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] n-situ TEM Observation on Cu/MoOx Resistive Switching RAM

    • 著者名/発表者名
      M. Kudo, Y. Ohno, K. Hamada, M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      ANBRE13
    • 発表場所
      COEX (Seoul, Korea)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Double quantum dot Si single-electron transistor with multiple gate electrodes fabricated by PADOX

    • 著者名/発表者名
      T. Uchida, M. Arita, A. Fujiwara, Y. Takahashi
    • 学会等名
      ANBRE13
    • 発表場所
      COEX (Seoul, Korea)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] In-situ TEM observation of gold nanogaps by electromigration

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, H. Ochi, M. Arita, K. Hamada, Y. Takahashi, S. Takeda
    • 学会等名
      ANBRE13
    • 発表場所
      COEX (Seoul, Korea)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 室温での反応性スパッタにより作製したWOx薄膜の抵抗スイッチ特性

    • 著者名/発表者名
      中根明俊,高見澤圭祐,廣井孝弘,有田正志,高橋庸夫,山田 徹
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大(京田辺)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] MoOx抵抗変化型メモリのスイッチ特性の改善

    • 著者名/発表者名
      廣井孝弘,中根明俊,Thana Sriviriyakul,髙見澤圭佑,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大(京田辺)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Cu/MoOx抵抗変化型メモリにおけるフィラメント観察とその分析

    • 著者名/発表者名
      工藤昌輝,大野裕輝,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大(京田辺)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Fe-MgF2グラニュラー膜における磁気抵抗効果のFe層厚依存性

    • 著者名/発表者名
      横野示寛,佐藤栄太,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第153回日本金属学会講演大会
    • 発表場所
      金沢大学(金沢)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 抵抗変化メモリCu/MoOxにおけるCuの移動

    • 著者名/発表者名
      大野裕輝,工藤昌輝,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第153回日本金属学会講演大会
    • 発表場所
      金沢大学(金沢)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] ダブルゲートSi単電子トランジスタにおけるExcited stateの特性変化

    • 著者名/発表者名
      吉岡 勇,内田貴史,佐藤 光,有田正志,藤原 聡,高橋庸夫
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大(京田辺)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 二重量子ドットSi単電子トランジスタにおける少数電子系の結合容量の評価

    • 著者名/発表者名
      内田貴史,吉岡 勇,有田正志,藤原 聡,高橋庸夫
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大(京田辺)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] エレクトロマイグレーションによるAu細線破断過程のTEMその場観察

    • 著者名/発表者名
      村上暢介,越智隼人,浜田弘一,有田正志,髙橋庸夫
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大(京田辺)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] バイポーラフィードバック電圧制御法によるNiナノ構造の形状変化

    • 著者名/発表者名
      越智隼人,村上暢介,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大(京田辺)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Observation of filament formation and rupture in Cu/MoOx ReRAMs

    • 著者名/発表者名
      M. Kudo, Y. Ohno, K. Hamada, M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      224th ECS Meeting
    • 発表場所
      The Hilton San Francisco Hotel (San Francisco, California, USA)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] High-Speed Operation of Si Single-Electron Transistor

    • 著者名/発表者名
      Y. Takahashi, H. Takenaka, T. Uchida, M. Arita, A. Fujiwara, H. Inokawa
    • 学会等名
      224th ECS Meeting
    • 発表場所
      The Hilton San Francisco Hotel (San Francisco, California, USA)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Double-dot Si single-electron transistor with tunable coupling capacitance

    • 著者名/発表者名
      T. Uchida, I. Yoshioka, M. Arita, A. Fujiwara, Y. Takahashi
    • 学会等名
      10th Int. Conf. Flow Dynamics
    • 発表場所
      Sendai Int. Cent. (Sendai)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Si 単電子トランジスタ特性における2次元励起状態

    • 著者名/発表者名
      佐藤光,内田貴史,吉岡勇,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第49回応用物理学会北海道支部学術講演会
    • 発表場所
      北大(札幌)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Cu/MoOx 構造の熱処理によるCu の移動

    • 著者名/発表者名
      藤本天,廣井孝弘,中根明俊,大野裕輝,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      日本金属学会北海道支部講演大会
    • 発表場所
      北海道立道民活動センター(札幌)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 極薄Fe‐MgF2 グラニュラー膜の作製と電気特性

    • 著者名/発表者名
      佐藤栄太,横野示寛,石川琢磨,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      日本金属学会北海道支部講演大会
    • 発表場所
      北海道立道民活動センター(札幌)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Cu/MoOx抵抗変化メモリのスイッチ動作における導電フィラメントの直接観察

    • 著者名/発表者名
      大野裕輝,廣井孝弘,工藤昌輝,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子デバイス研究会
    • 発表場所
      北大(札幌)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Observation of ReRAM switching by means of TEM/STM

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, Y. Takahashi
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大(相模原)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 微細構造形成に向けたエレクトロマイグレーションによる細線破断過程の解析

    • 著者名/発表者名
      村上暢介,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大(相模原)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] マルチゲート二重量子ドットSi単電子トランジスタのカップリング容量の制御

    • 著者名/発表者名
      内田貴史,吉岡勇,佐藤光,有田正志,藤原聡,高橋庸夫
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大(相模原)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 3端子ナノドットアレイの高機能の創出

    • 著者名/発表者名
      吉岡勇,内田貴史,佐藤光,有田正志,藤原聡,高橋庸夫
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大(相模原)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Cu-MoOx-Al2O3抵抗変化型メモリのスイッチ特性

    • 著者名/発表者名
      廣井孝弘,中根明俊,藤本天,有田正志,高橋庸夫,安藤秀幸,森江隆
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大(相模原)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Al電極上に作製したWOx薄膜の抵抗スイッチ特性

    • 著者名/発表者名
      中根明俊,廣井孝弘,有田正志,高橋庸夫,安藤秀幸,森江隆
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大(相模原)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] TEMその場観察法によるCu/WOx抵抗変化型メモリの特性評価

    • 著者名/発表者名
      高橋謙仁,大野裕輝,中根明俊,工藤昌輝,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大(相模原)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] TEMその場観察を用いたCu/MoOx抵抗変化型メモリの繰り返し特性とフィラメント観察

    • 著者名/発表者名
      工藤昌輝,大野裕輝,廣井孝弘,藤本天,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大(相模原)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Fe-MgF2単層グラニュラー膜の磁気抵抗効果と膜微細構造

    • 著者名/発表者名
      横野示寛,佐藤栄太,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第154回日本金属学会講演大会
    • 発表場所
      東京工大(目黒)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 抵抗変化メモリMoOx/Cuにおける繰り返し動作のTEMその場観察

    • 著者名/発表者名
      大野裕輝,廣井孝弘,工藤昌輝,浜田弘一,有田正志,高橋庸夫
    • 学会等名
      第154回日本金属学会講演大会
    • 発表場所
      東京工大(目黒)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [図書] (e-book) In situ transmission electron microscopy for electronics, in The Transmission Electron Microscope - Theory and Applications, Dr. Khan Maaz (Ed.), Chap. 2, DOI: 10.5772/606512015

    • 著者名/発表者名
      M. Arita, K. Hamada,Y. Takahashi, K. Sueoka,T. Shibayama
    • 出版者
      InTech
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書

URL: 

公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi