| 研究課題/領域番号 |
25420282
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 東京農工大学 |
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研究代表者 |
鮫島 俊之 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30271597)
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| 研究分担者 |
水野 智久 神奈川大学, 理学部, 教授 (60386810)
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| 連携研究者 |
蓮見 真彦 東京農工大学, 大学院工学研究院, 助教 (60261153)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2015年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| キーワード | ソーラーセル / パッシベーション膜 / 低温プロセス技術 / キャリヤライフタイム / マイクロ波吸収 / 加熱水 / 水蒸気熱処理 / 光誘起フリーキャリヤ / キャリアライフタイム / 光誘起フリーキャリア / パッシベション膜 |
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| 研究成果の概要 |
２つのシリコン結晶表面低温パッシベーション手法を開発した：①常温下酸素ラジカル処理と260℃、1.3MPa、3 h水蒸気熱処理の組み合わせ、②110℃加熱水中1hの熱処理。いずれも1 nm級のパッシベーション酸化膜が形成され、表面再結合欠陥密度が低減し、実効少数キャリヤライフタイムが向上した。特に加熱水処理は熱酸化膜並みの高い実効少数キャリヤライフタイムが得られた。本技術を用いて金とアルミを用いたMIS型ダイオードを作成し良好なダイオード特性と、効率8～9％ソーラーセル特性を得た。
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