| 研究課題/領域番号 |
25420285
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 中部大学 (2015-2016)
名古屋大学 (2013-2014) |
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研究代表者 |
田中 成泰 中部大学, 生命健康科学部, 教授 (70217032)
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| 研究協力者 |
丹羽 辰嗣
手島 基裕
軽海 貴博
長尾 俊介
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2015年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2014年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2013年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
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| キーワード | 電子線誘起電流 / EBIC / SEM / 不純物濃度 / シリコン |
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| 研究成果の概要 |
半導体デバイスの開発には，静電ポテンシャルを制御することが必要で，これは不純物の種類や濃度を変化させることで実現する．新しくデバイスを開発する時，不純物が設計どおりに制御できているか調べることが必要になる．しかし，デバイスの微細化が進む中，そのような手法の開発が遅れている．本研究では，電子ビームを照射したときに流れる電流を測ることで，不純物濃度を分析する手法の開発を目指した．電子顕微鏡を使って行う手法であり，空間分解能は非常に高く出来，濃度に応じて誘導電流が変化することを確認出来た．しかし，そのために試料を加工する必要がある．試料作製法を改良することで，より信頼できる手法になると期待される．
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