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酸化膜に希土類元素を導入したMOS構造による紫外および可視発光素子の研究

研究課題

研究課題/領域番号 25420293
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関富山県立大学

研究代表者

松田 敏弘  富山県立大学, 工学部, 教授 (70326073)

研究分担者 岩田 栄之  富山県立大学, 工学部, 准教授 (80223402)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2015年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2014年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2013年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワードシリコン / MOS / 発光 / 半導体 / 希土類
研究成果の概要

大規模集積回路(LSI)の主要材料であるシリコン(Si)による発光素子は、光による信号伝達や携帯電子機器の小型ディスプレイ等への応用が期待される。本研究では、Siを用いた可視・紫外領域の発光素子の試作と特性解析を行った。発光性の絶縁層は、Si基板上に希土類元素を含む有機材料をスピンコートし、大気中の熱処理で作製した。希土類元素として、Tb、Eu 、Gd、等とCa、Ba、Ta等の組み合わせを検討した。それぞれの希土類イオンの発光性遷移エネルギーに対応した波長での発光を確認した。とくに、Gdを含む素子では、約310 nm付近の紫外光を観測した。

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (4件)

  • [雑誌論文] Ultraviolet and white electroluminescence from metal–oxide–semiconductor devices fabricated by spin-coating of gadolinium organic compounds on silicon2014

    • 著者名/発表者名
      T. Ohzone, T. Matsuda, S. Saito, and H. Iwata
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 1 ページ: 014101-014101

    • DOI

      10.7567/jjap.53.014101

    • NAID

      210000143239

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] UV and Visible range Electroluminescence from MOS Devices Fabricated by Spin-Coating of Gd/Dy Organic Compound Films on Silicon2013

    • 著者名/発表者名
      T. Matsuda, S. Saito, H. Iwata, and T. Ohzone
    • 雑誌名

      Ext. Abst. International Conference on Solid State Devices and Materials

      巻: 2013 ページ: 228-229

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Tb系酸化膜を持つシリコン系発光素子の発光特性解析2015

    • 著者名/発表者名
      福岡 涼平, 服部 史空, 松田 敏弘, 岩田 栄之, 大曽根 隆志
    • 学会等名
      電気関係学会北陸支部連合大会
    • 発表場所
      金沢工業大学
    • 年月日
      2015-09-12
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 希土類を導入したMOS型発光素子の直流および交流発光特性解析2014

    • 著者名/発表者名
      福岡 涼平,松田 敏弘,岩田 栄之,大曽根 隆志
    • 学会等名
      電気関係学会北陸支部連合大会
    • 発表場所
      富山高等専門学校(冨山県射水市)
    • 年月日
      2014-09-11 – 2014-09-12
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Electroluminescence from MOS Devices with (Tb + Ba) Doped Oxide under DC and Pulse Voltage2014

    • 著者名/発表者名
      R. Fukuoka, T. Matsuda, H. Iwata, and T. Ohzone
    • 学会等名
      19th International Conference on Ternary and Multinary Compounds
    • 発表場所
      Niigata, Japan
    • 年月日
      2014-09-01 – 2014-09-05
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] UV and Visible range Electroluminescence from MOS Devices Fabricated by Spin-Coating of Gd/Dy Organic Compound Films on Silicon2013

    • 著者名/発表者名
      T. Matsuda
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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