| 研究課題/領域番号 |
25420324
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
|
|---|
| 研究機関 | 電気通信大学 |
|---|
研究代表者 |
石橋 孝一郎 電気通信大学, 情報理工学(系)研究科, 教授 (50614038)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
|
| 配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2013年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
|
|---|
| キーワード | 電子デバイス / 電子機器 / ＭＥＭＳ / ウエイクアップモジュール / MEMS |
|---|
| 研究成果の概要 |
Ｑ値の大きいＭＥＭＳ共振器を製作し、これを用いて無電源のウエイクアップモジュールを実現することを目的として、研究を行った。
静電型ＭＥＭＳ共振器の設計法、製造法、測定法、動作シミュレーション方法を確立した。くし歯型静電型ＭＥＭＳを製作し、131MHzの共振周波数を確認した。一方、静電型ＭＥＭＳ共振器では、ウエイクアップ信号発生に必要な共振エネルギーが得られないこともわかった。
次に圧電型ＭＥＭＳ共振器について検討し、圧電型で一定の大きさのＭＥＭＳ共振器で900MHz帯でウエイクアップモジュールが実現できることを明らかにした。
|
