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レーザーアシストイオン注入法によるシリコン・チタン不定比窒化物の物性と機能化

研究課題

研究課題/領域番号 25420687
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 金属物性・材料
研究機関東北大学

研究代表者

粕壁 善隆  東北大学, 高度教養教育・学生支援機構, 教授 (30194749)

研究分担者 須藤 彰三  東北大学, 理学研究科, 教授 (40171277)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2015年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2014年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2013年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
キーワード不定比化合物 / 窒化物 / 機能性材料 / イオン注入 / その場観察 / 透過電子顕微鏡 / 電子エネルギー損失分光 / 分子軌道計算 / 不定比物性
研究成果の概要

電顕および電子エネルギー損失分光のその場観察から、TiHx中の水素の脱離が窒素注入初期段階で優先的に起こり、その後の注入過程で、Ti原子と結合した窒素原子数が徐々に増大することが分かった。以上より窒素を配位子として持つTi副格子の結合の強さの変化により誘起されたhcp-Tiの細密面の原子移動が注入窒素の占有によるhcp-fcc-Ti副格子のエピタキシャル変態において重要な役割を持っていること、さらに、hcp-Ti格子の窒素原子を含む八面体に隣接した単位胞の窒素のない八面体サイトの窒素の占有がN/Ti=0.25以上で優先的に起こり、hcp-fcc-Ti変態の核の成長を誘起することを明らかにした。

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて 2016 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件)

  • [雑誌論文] Characterization of (111)-oriented Ti1-xAlxN Thin Films on Monocrystalline AlN2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Kasukabe, H. Shimoda, S. Yamamoto and M. Yoshikawa
    • 雑誌名

      JAEA-Review

      巻: 2015-022 ページ: 123-123

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evolution of Transformation Processes due to the Correlation of Implanted N-ions with Ti Thin Films2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Kasukabe, H. Shimoda, S. Yamamoto and M. Yoshikawa
    • 雑誌名

      JAEA-Review

      巻: 2014-050 ページ: 141-141

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Atomistic Transformation Processes Induced by the Interaction of Implanted N-Ions with Ti Thin Films2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Kasukabe, H. Shimoda, S. Yamamoto and M. Yoshikawa
    • 雑誌名

      JAEA-Review

      巻: 2013-059 ページ: 137-137

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of Epitaxial Transformation Phenomena Induced by the Interaction of Implanted N-Ions with Ti Thin Films2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshitaka Kasukabe, Hiroyuki Shimoda, Yu Chen, Shunya Yamamoto, Masahito Yoshikawa and Yutaka Fujino
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B

      巻: 315 ページ: 131-135

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Epitaxial Transformation of hcp-fcc Ti sublattices during Nitriding Processes of Evaporated-Ti Thin Films due to Nitrogen-Implantation2013

    • 著者名/発表者名
      Yu Chen, Xiaoyi Feng, Yoshitaka Kasukabe, Shunya Yamamoto, Masato Yoshikawa and Yutaka Fujino
    • 雑誌名

      Journal of Alloys and Compounds

      巻: 577S

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Epitaxial Transformation of Evaporated-Ti Thin Films during Nitriding Processes2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Kasukabe, Y. Chen, S. Yamamoto and M. Yoshikawa
    • 雑誌名

      JAEA-Review

      巻: 2012-046 ページ: 130-130

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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