励起光エネルギーに依存したPTFEに対する放射光照射効果

• 研究課題/領域番号: 25420734
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 複合材料・表界面工学
• 研究機関: 兵庫県立大学
• 研究代表者: 春山 雄一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (10316036)
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2016-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2015年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2013年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
• キーワード: 放射光照射 / PTFE / 放射光照射効果 / フルオロカーボン

研究成果の概要

ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を含むフルオロカーボン表面に対し、励起光のエネルギーを変化させて放射光照射効果を調べた。本研究では、放射光照射効果の詳細を明らかにしていくために、4重極質量分析器を用いた放射光照射時のフラグメント観測、放射光照射時の温度依存性の影響、PTFEと同様なCF2鎖を持つフルオロカーボン薄膜に対する放射光照射効果の３つの方法により、放射光照射効果を調べ、放射光照射後の表面における炭素とフッ素原子の結合に関する知見を得た。

研究成果

• [雑誌論文] Electronic structure of fluorinated self-assembled monolayer investigated by photoelectron spectroscopy in the valence band region (2015)
  • 著者名/発表者名: Yuichi Haruyama and Shinji Matsui
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 54 号: 7 ページ: 075202-075202
  • DOI: 10.7567/jjap.54.075202
  • NAID: 210000145358
  • 査読あり
• [雑誌論文] Evaluation of the fluorinated antisticking layer by using photoemission and NEXAFS spectroscopies (2015)
  • 著者名/発表者名: Yuichi Haruyama, Yasuki Nakai, Shinji Matsui
  • 雑誌名: Applied Physics A 巻: 印刷中 号: 2 ページ: 437-441
  • DOI: 10.1007/s00339-015-9104-5
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 光電子およびNEXAFS分光法によるフッ素含有自己組織化膜の評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 春山 雄一, 岡田 真, 中井 康喜, 石田 敬雄, 松井 真二
  • 雑誌名: 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 巻: 134 号: 4 ページ: 468-472
  • DOI: 10.1541/ieejeiss.134.468
  • NAID: 130003391745
  • ISSN: 0385-4221, 1348-8155
  • 査読あり
• [学会発表] フルオロカーボン薄膜の電子状態に関する研究 (2016)
  • 著者名/発表者名: 春山雄一, 岡田真, 松井真二
  • 学会等名: 日本物理学会 第71回年次大会
  • 発表場所: 東北学院大（宮城県仙台市）
  • 年月日: 2016-03-22
• [学会発表] 光電子分光およびNEXAFS測定によるフッ素含有自己組織化膜の電子構造評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 春山雄一, 岡田真, 松井真二
  • 学会等名: 第２９回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 柏の葉カンファレンスセンター(千葉県柏市)
  • 年月日: 2016-01-10
• [学会発表] Evaluation of the Fluorinated Antisticking Layer by Using Photoemission and NEXAFS Spectroscopies (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Haruyama, M. Okada, Y. Nakai, T. Ishida and S. Matsui
  • 学会等名: 7th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014)
  • 発表場所: ヒルトン福岡シーホーク（福岡県福岡市）
  • 年月日: 2014-11-07
• [学会発表] Photoelectron Spectroscopy Study of the Fluorinated Antisticking Layers for Nanoimprint Lithography (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Haruyama, M. Okada, Y. Nakai, T. Ishida and S. Matsui
  • 学会等名: 3th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2014)
  • 発表場所: ANAクラウンプラザホテル京都（京都府京都市）
  • 年月日: 2014-10-23
• [備考] ナノ構造科学分野
  • URL: http://www.lasti.u-hyogo.ac.jp/nanostructure/index.html