| 研究課題/領域番号 |
25420783
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
材料加工・組織制御工学
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| 研究機関 | 株式会社豊田中央研究所 |
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研究代表者 |
伊関 崇 株式会社豊田中央研究所, 材料・プロセス1部 表面改質研究室, 主任研究員 (60394897)
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| 連携研究者 |
山口 聡 株式会社豊田中央研究所, 分析部 量子ビーム解析研究室, 研究員 (10394892)
野崎 洋 株式会社豊田中央研究所, 分析部 量子ビーム解析研究室, 主任研究員 (90394890)
高橋 直子 株式会社豊田中央研究所, 分析部 組織解析研究室, 技師 (90394981)
小澤 康弘 株式会社豊田中央研究所, 材料・プロセス1部 表面改質研究室, 技師補 (60557940)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| キーワード | DLC / 動径分布関数 / 構造解析 / X線散乱 / 中性子散乱 / ラマン散乱 / ナノインデンテーション / 中性子 / 放射光 / 微小角入射X線散乱 |
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| 研究成果の概要 |
プラズマCVD法により作製したダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜を放射光による微小角入射X線散乱（GIXS）測定に供した。得られた散乱スペクトルから動径分布関数を算出したところ、成膜時の投入電力の増大により、膜中のsp2炭素に起因する中距離秩序性の増大が認められた。本結果は可視光ラマン散乱やナノインデンテーションの結果とも良い相関性を示した。また、重水素化したDLCを中性子散乱に供することで、RDFを導出した結果、グラファイト骨格中にC-D結合の存在が確認された。
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