| 研究課題/領域番号 |
25600018
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
ナノ構造物理
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| 研究機関 | 大阪府立大学 |
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研究代表者 |
石田 武和 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00159732)
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| 研究分担者 |
日高 睦夫 独立行政法人産業技術総合研究所, ナノエレクトニクス研究部門, 上級主任研究員 (20500672)
林 正彦 秋田大学, 教育文化学部, 准教授 (60301040)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2013年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
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| キーワード | 電子デバイス / ベクトルSQUID素子 / 超伝導材料・素子 / 超精密計測 / マイクロ・ナノデバイス / 磁気記録 / 電子デバイス・機器 |
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| 研究概要 |
Nb多層配線プロセスを改良し、ピックアップコイルを3次元化したSQUIDの作製プロセスを構築した。SQUID顕微鏡のための磁場検出素子は、産総研のクリーンルームCRAVITYで製作を行った。特に、グラジオメーター形式を採用して低雑音化を図った素子や多層プロセスを利用して3次元的にコイルを配置したベクトル磁場測定用のSQUID素子も製作した。また、SQUID素子の実装技術についても開発を行った。理論面からは、3次元走査型SQUID顕微鏡の特異値分解を用いた画像解析アルゴリズムの開発を行った。これにより、新しい産業の創成や先端研究分野でのイノベーションを支援できの萌芽段階の開発となった。
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