| 研究課題/領域番号 |
25600085
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
結晶工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
沓掛 健太朗 東北大学, 金属材料研究所, 助教 (00463795)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2013年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
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| キーワード | 結晶方位解析 / 結晶工学 / 面方位 / 多結晶 / 大面積ウェーハ / 結晶方位 / 大面積ウエハ |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、申請者が独自に着想した結晶方位解析法について、理論の構築と解析方法の基礎固めを目的として研究を進めた。本方法は、結晶方位を反映した試料表面の光反射強度の対称性と変位を解析する方法であり、理想的には大面積の結晶方位分布を高速に得ることができる。本方法を実現するための装置を設計・導入し、検討を重ねることで、具体的な装置仕様およびこの方法のポテンシャルについての一定の知見を得た。
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