研究課題/領域番号 |
25600090
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
結晶工学
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研究機関 | 三重大学 |
研究代表者 |
平松 和政 三重大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50165205)
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研究分担者 |
三宅 秀人 三重大学, 大学院工学研究科, 准教授 (70209881)
元垣内 敦司 三重大学, 大学院工学研究科, 准教授 (00303751)
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研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2013年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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キーワード | 窒化物半導体 / 深紫外領域 / 表面プラズモン / 表面プラズモンセンサー / 2層型ワイヤーグリッド偏光子 / 窒化アルミニウム / 金属 / 化合物半導体 / 金属薄膜 / ワイヤーグリッド偏光子 / センサー |
研究成果の概要 |
本研究は、窒化物半導体と表面プラズモン共鳴現象とを融合し、深紫外領域における新規の光物性を見出し、光デバイスを開拓することである。この目的に対し、可視領域での表面プラズモン共鳴の検討を行い、深紫外領域での表面プラズモン共鳴に関する知見を得ると共に、基板となるAlN結晶作製を行った。 GaP基板とAuを組みあわせた表面プラズモンセンサーを作製し、屈折率が1.55の2,4-ジクロロトルエンの検出に成功した。また、2層型ワイヤーグリッド偏光子において、表面プラズモン共鳴による異常透過現象を見いだした。 更に、溝加工を施したAlN基板にHVPE法で結晶成長を行い、高品質なAlN層を得ることができた。
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