| 研究課題/領域番号 |
25600125
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
プラズマエレクトロニクス
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
比村 治彦 京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 准教授 (30311632)
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| 研究分担者 |
三瓶 明希夫 京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 講師 (90379066)
蓮池 紀幸 京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 助教 (40452370)
政宗 貞男 京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 教授 (00157182)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2015年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2014年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2013年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | プラズマプロセス / 酸化亜鉛薄膜 / 酢酸亜鉛 / ジエチル亜鉛 / 酸素負イオン / 酸素アニオンラジカル / プラズマエレクトロニクス / 酸化亜鉛 / 酸素ラジカル / RFプラズマ / 低温プロセス / ZnO / ZnO薄膜 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、酸素源に酸素負イオンを含む酸素プラズマを、亜鉛源に酢酸亜鉛とジエチル亜鉛を用いる新しいプラズマプロセスを試行し、その方法で酸化亜鉛（ZnO）薄膜を生成することを試みている。超音波振動により霧状にされた酢酸亜鉛は、オリフィスで差動排気されている反応容器内へと入る。電子顕微鏡で撮影された基板表面には、不均一に凝集したZnOクラスター様が堆積していた。同様の堆積物は、酢酸亜鉛ミストの輸送ライン上でも観測された。飽和蒸気圧の低いジエチル亜鉛を亜鉛源に用いたZnO薄膜生成実験では、ZnO薄膜形成に対する酸素ラジカルからの寄与の可能性がぬぐいきれない。全く新しい検証実験が必要とされている。
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