| 研究成果の概要 |
試料温度と伴に変化する複屈折の情報を2次元イメージング画像として可視化し, 偏光顕微鏡では不可能であった位相差や主軸の回転角度を定量評価できる測定システムを開発した。その結果, これまで不可能であったごくわずかな位相差の変化を検出する解析手法を開発した。本測定装置と解析手法を利用することによって, 薄膜やバルク試料を問わずデバイス材料の汎用的な物性評価装置として活用できる。
一般に複屈折は波長光の半波長を超える測定は原理的に不可能である。しかし我々はその測定限界を超えるため, 3種類の波長光を用いて同時に複屈折測定し, その合成データを用いることによってその限界を超える事に成功した。
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