高精度X線ミラー作製のための新規形状創生プロセスの開発

• 研究課題/領域番号: 25600140
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 量子ビーム科学
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 松山 智至 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (10423196)
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2013年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
• キーワード: X線集光ミラー / 放射光 / イオンビーム加工

研究成果の概要

X線分析やX線顕微鏡の性能向上のためには，高精度なX線集光ミラーの開発は必要不可欠である．しかし，開口数の大きなX線集光ミラーは，その形状ゆえに高精度に作製することは困難を極める．本研究では，そのようなX線集光ミラーを高精度に作製できるコンピュータ制御イオンビーム加工装置を開発した．楕円ミラーを作製したところ，形状誤差1 nmで作製することに成功した．

研究成果

• [雑誌論文] Achromatic and high-resolution full-field X-ray microscopy based on total-reflection mirrors (2015)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama, Y. Emi, H. Kino, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 23 号: 8 ページ: 9746-9752
  • DOI: 10.1364/oe.23.009746
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Development of achromatic full-field hard x-ray microscopy and its application to x-ray absorption near edge structure spectroscopy (2014)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama, Y. Emi, H. Kino, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 雑誌名: Proceedings of SPIE 巻: 9207 ページ: 920802-920802
  • DOI: 10.1117/12.2060783
  • 査読あり
• [学会発表] モノリシックな一次元Wolter mirrorを用いた結像型硬X線顕微鏡の開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 安田周平，松山智至，木野英俊，岡田浩巳，青野真也，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2015年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京，東洋大学白山キャンパス
  • 年月日: 2015-03-17 – 2015-03-19
• [学会発表] 2回反射型X線ミラーのためのX線スローププロファイラの開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 松山智至，木目歩美，後藤拓実，西原明彦，香村芳樹，石川哲也，坂尾太郎，山内和人
  • 学会等名: 2015年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京，東洋大学白山キャンパス
  • 年月日: 2015-03-17 – 2015-03-19
• [学会発表] Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製（第7報）―静電偏向制御による非球面形状の作製と評価― (2015)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
  • 学会等名: 2015年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京，東洋大学白山キャンパス
  • 年月日: 2015-03-17 – 2015-03-19
• [学会発表] X線ミラー作製のためのビーム偏向制御を用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
  • 学会等名: 第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 滋賀，立命館大学BKC
  • 年月日: 2015-01-10 – 2015-01-12
• [学会発表] 1次元Wolterミラー（Monolithic型）を用いた色収差のない結像型X線顕微鏡の開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 木野英俊，松山智至，岡田浩巳，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，津村尚史，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 滋賀，立命館大学BKC
  • 年月日: 2015-01-10 – 2015-01-12
• [学会発表] 2回反射型結像ミラーのためのX線スローププロファイラの開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 木目歩美，松山智至，山内和人
  • 学会等名: 第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 滋賀，立命館大学BKC
  • 年月日: 2015-01-10 – 2015-01-12
• [学会発表] Achromatic full-field X-ray microscopy using four total-reflection mirror (2014)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama, Y. Emi, H. Kino, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: XRM2014
  • 発表場所: Melbourne, Australia
  • 年月日: 2014-10-26 – 2014-10-31
• [学会発表] Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製（第6報）～静電偏向制御による数値制御加工～ (2014)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
  • 学会等名: 2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 鳥取大学，鳥取
  • 年月日: 2014-09-16 – 2014-09-18
• [学会発表] Development of achromatic full-field hard X-ray microscopy and its application to X-ray absorption near edge structure spectromicroscopy (2014)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama, Y. Emi, H. Kino, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics 2014
  • 発表場所: San Diego, CA, US
  • 年月日: 2014-08-17 – 2014-08-21
• [学会発表] X線ミラー作製のためのビーム偏向制御用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
  • 学会等名: 精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会
  • 発表場所: 大阪，近畿大学東大阪キャンパス
  • 年月日: 2014-07-04
• [学会発表] Development of Achromatic Full-field X-ray Microscopy Based on Total Reflection Mirrors (2014)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama
  • 学会等名: CC3DMR 2014
  • 発表場所: Incheon/Soul, South Korea
  • 年月日: 2014-06-23 – 2014-06-27
  • 招待講演
• [学会発表] Ion Beam Figuringを用いた高精度X線集光ミラーの作製 (2014)
  • 著者名/発表者名: 山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
  • 学会等名: 第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 広島国際会議場
• [学会発表] 硬X線自由電子レーザーシングルナノ集光用Pt/C多層膜の破壊特性評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 金章雨，長平良綾香，松山智至，福井亮介，西原明彦，小山貴久，湯本博勝，佐野泰久，大橋治彦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 広島国際会議場
• [学会発表] Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた結像型硬X線顕微鏡の開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 松山智至，恵美陽治，木野英俊，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 広島国際会議場
• [学会発表] 硬X線用多層膜集光ミラーの表面平滑化による反射率向上に関する研究 (2014)
  • 著者名/発表者名: 長平良綾香，金章雨，松山智至，佐野泰久，山内和人
  • 学会等名: 第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 広島国際会議場
• [学会発表] 1枚の基板上に作製された1次元ウォルターミラーの開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 木野英俊，松山智至，恵美陽治，岡田浩巳，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，津村尚史，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 広島国際会議場
• [学会発表] 結像型硬X線顕微鏡のためのコンパクトなAdvanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 恵美陽治，松山智至，木野英俊，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 広島国際会議場
• [学会発表] Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた高分解能かつ色収差のない硬X線顕微鏡の開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 松山智至，恵美陽治，木野英俊，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
  • 学会等名: 2014年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京大学
• [学会発表] Damage characteristics of platinum/carbon multilayers under focused x-ray free-electron laser irradiation (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Kim, T. Koyama, H. Yumoto, A. Nagahira, S. Matsuyama, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics
  • 発表場所: San Diego, USA
• [学会発表] Development of full-field hard x-ray microscopy with four aspherical mirrors (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama, Y. Emi, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi
  • 学会等名: SPIE Optics+Photonics
  • 発表場所: San Diego, USA
  • 招待講演
• [学会発表] Development of achromatic full-field hard X-ray microscopy using four total-reflection mirrors (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuyama
  • 学会等名: The 12th symposium on X-ray Imaging Optics
  • 発表場所: Osaka, Japan
  • 招待講演
• [学会発表] Development of a High-resolution Full-field Hard X-ray Imaging Microscope with Compact AKB Mirror Optics (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Emi, S. Matsuyama, H. Kino, Y. Kohmura, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
  • 学会等名: The 12th symposium on X-ray Imaging Optics
  • 発表場所: Osaka, Japan
• [学会発表] Development of one-dimensional Wolter Mirror figured on a single substrate for full-field X-ray microscopy (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Kino, S. Matsuyama, Y. Emi, H. Okada, Y. Sano, and K. Yamauchi
  • 学会等名: The 12th symposium on X-ray Imaging Optics
  • 発表場所: Osaka, Japan
• [図書] 超精密加工と表面科学 (2014)
  • 著者名/発表者名: 松山智至（第三部一章三）
  • 総ページ数: 379
  • 出版者: 大阪大学出版会
• [備考] 研究者総覧（松山）
  • URL: http://www.dma.jim.osaka-u.ac.jp/view?l=ja&u=4001
• [備考] 山内研究室
  • URL: http://www-up.prec.eng.osaka-u.ac.jp/
• [備考] 研究者総覧(松山)
  • URL: http://www.dma.jim.osaka-u.ac.jp/view?l=ja&u=4001
• [備考] 山内研究室
  • URL: http://www-up.prec.eng.osaka-u.ac.jp/