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石英製屈折レンズを用いる放射光マイクロ回折によるInGaN層のピンポイント評価

研究課題

研究課題/領域番号 25600151
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 量子ビーム科学
研究機関公益財団法人高輝度光科学研究センター

研究代表者

木村 滋  公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 副主席研究員 (50360821)

研究分担者 今井 康彦  公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 研究員 (30416375)
研究協力者 横川 俊哉  
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2013年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワード放射光 / 集光素子 / 屈折レンズ / 石英 / GaInN / X線回折 / 蛍光X線分析 / マイクロビーム / マイクロ回折
研究成果の概要

高エネルギー用X線集光素子として実績のある屈折レンズを石英で作製することに挑戦し,レンズを試作した.集光性能の測定は,高分解能マイクロ回折計に新たに屈折レンズ調整機構を組み込み,試料位置で金メッシュスキャンをすることにより,ビームサイズとフラックスの測定を実施した.測定された最小のビームサイズは,20 keV: 1.9 μm(水平方向)×1.1 μm(垂直方向),25 keV: 1.5 μm(水平方向)×1.0 μm(垂直方向),30 keV: 1.6 μm(水平方向)×1.6 μm(垂直方向)であった.
30 KeVの集光ビームを利用し,InGaN超格子の熱安定性の評価を実施した.

報告書

(3件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて 2015 2014

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (2件)

  • [雑誌論文] BL13XU(表面界面構造解析)の現状 (2014)2014

    • 著者名/発表者名
      田尻 寛男,今井 康彦
    • 雑誌名

      SPring-8/SACLA利用研究成果集

      巻: 3 ページ: 145-153

    • NAID

      130007969144

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] X線マイクロビームによるGaN基板上InGaN系デバイスの評価2015

    • 著者名/発表者名
      横川 俊哉,栫 拓也,今井 康彦,木村 滋
    • 学会等名
      2015年 第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 高エネルギーX線集光用石英ガラス製屈折レンズの開発2015

    • 著者名/発表者名
      木村滋,今井康彦
    • 学会等名
      2015年 第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2015-03-11
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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