研究課題/領域番号 |
25630029
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
生産工学・加工学
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研究機関 | 熊本大学 |
研究代表者 |
久保田 章亀 熊本大学, 自然科学研究科, 准教授 (80404325)
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研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2013年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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キーワード | ダイヤモンド / 精密研磨 / 紫外光援用研磨 / 先端機能デバイス / 精密部品加工 |
研究成果の概要 |
ダイヤモンドは,硬度,熱伝導率,絶縁特性,耐環境性に優れた特性を有し,高耐圧,低損失,高速動作を可能とする冷却フリーな次世代省エネルギーパワーデバイス用材料として期待されている.しかしながら,ダイヤモンドは,物質中で最高の硬度を有し,熱的・化学的に極めて安定であることから,その加工は困難であり,ダイヤモンドの高能率・高精度加工法の開発が急務となっている.このような背景のもとで,われわれは,乾式環境下で紫外光を援用した研磨法(紫外光援用研磨)を提案している.本研究では,提案手法によるダイヤモンドの加工特性を明らかにするなかで,高能率かつ高精度を同時に実現できる可能性を見出した.
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