研究課題
挑戦的萌芽研究
本研究では，銀薄膜の成膜，カーボンイオン注入，熱処理のプロセスを最適化して，カーボンオニオン超格子の生成を行うことを目的として研究を行った．期間中にイオン注入における各パラメータの影響を検証するとともに，そのメカニズムを明らかにした．粒子ははじめ直径20nm程度まで成長するものの，それ以上は成長しないことが分かった．すなわち粒径のそろったカーボンオニオンを生成することが可能となり，さらに，熱処理温度を最適化することで配列したカーボンオニオンのみからなる膜を生成できることが明らかになった．
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Surface and Interface Analysis
巻: (印刷中) 号: 10-11 ページ: 961-965
10.1002/sia.5457
