| 研究課題/領域番号 |
25630034
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 東京農工大学 |
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研究代表者 |
安藤 泰久 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00344169)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2015年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2014年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2013年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
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| キーワード | 凝着力 / 摩擦力 / MEMS / 静電アクチュエータ / 単結晶シリコン / 接触面積 / 凝縮水 / 温度ドリフト / 摩擦係数 / フォースカーブ / 実効荷重 / 走査速度 / 電流測定 / 動圧効果 / トライボロジー / AFM |
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| 研究成果の概要 |
カンチレバーを3次元マイクロステージ上に直接取り付けたオンチップAFMを用いて最小接触面積での摩擦特性を調べた。FEM解析で、オンチップAFMの温度ドリフトが小さいことを示した。オンチップAFMのステージ変位は、垂直方向に1.1μｍ、水平方向に1.5μｍであった。-22.5nNの負の垂直荷重をSi製のプローブと移動ステージ間に加え、0.1～100 μm/sの走査速度で摩擦力分布を測定した。その結果、摩擦力分布像を得ることに成功し、速度に対して正の傾きを有する平均摩擦力が得られた。摩擦力と垂直荷重の関係を調べたところ、最小の接触面積は、原子数15個に相当する4.5平方nmとなった。
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