| 研究課題/領域番号 |
25630084
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
芳賀 洋一 東北大学, 医工学研究科, 教授 (00282096)
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| 研究分担者 |
松永 忠雄 東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 助教 (00396540)
石井 賢治 東北大学, その他の研究科, その他 (70422079)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2013年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | チューブ形状 / 非平面プロセス / フレキシブル基板 / MEMS（微小電気機械システム）技術 / フレキシブル基盤 |
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| 研究成果の概要 |
体内で用いるチューブへの電気的および流体制御など機能付加を目指し、非平面フォトファブリケーション技術による微細加工を行った。複数の凹面部を形成したセラミック基板内壁へ凸形状を形成し、電解めっきにより金属層を形成し、内腔側に突出する金属構造とした。さらに凹面部へ流路構造の形成も行った。外径0.4mmの高分子チューブに電極構造および絶縁層を積層し電気的機能を付加しレーザーにより壁を貫通加工し内腔と外部をつなぐ構造とした。薄肉柔軟な構造を目指し、気相で成膜可能な高分子を材料として用い複数個の電極を内部に有したポリマー多層チューブを形成した。
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