| 研究課題/領域番号 |
25630130
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
清水 勝 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30154305)
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| 連携研究者 |
藤澤 浩訓 兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 准教授 (30285340)
中嶋 誠二 兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 助教 (80552702)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2013年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 強誘電体 / ナノロッド / ナノワイヤ / ナノキャパシタ / 超高集積強誘電体メモリ / 有機金属気相成長法 / 1次元構造 / 立体構造メモリ / 強誘電体メモリ / 強誘電体ナノキャパシタ / 酸化亜鉛 / チタン酸ジルコン酸鉛 |
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| 研究成果の概要 |
超高集積強誘電体メモリ(FeRAMs)への応用を目指した強誘電体ナノロッドキャパシタを作製した。有機金属気相成長（MOCVD）法により凸型テンプレートとなるZnOナノロッドやナノワイヤを基板上に成長させ、その上に強誘電体Pb(Zr,Ti)O3(PZT)や(Hf,Zr)O2をやはりMOCVD法により被覆堆積させた。さらに、ZnOをその上に堆積させることでZnO/PZT/ZnO及びZnO/(Hf,Zr)O2/ZnOナノロッド（ナノワイヤ）キャパシタ構造を作製することに成功した。パターン化されたPt上にのみZnOナノロッドを選択成長することも出来た。
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