| 研究課題/領域番号 |
25630138
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
山根 大輔 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (70634096)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2013年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | マイクロ・ナノデバイス / ナノギャップ / ナノエレクトロニクス / Casimir効果 / 金めっき / 光ミキサ / テラヘルツ波 / 静電容量型センサ / ナノデバイス / 無電解金めっき / 微細電極 |
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| 研究成果の概要 |
研究前半はナノ構造体の理論解析と作製プロセスの開発を行い，研究後半では目標センサをマイクロメートル寸法で試作し，特性評価しました。本研究で開発した微小構造体は，NEMS-Casimirセンサ以外にも様々な応用が期待できます。
研究成果は，査読付原著論文7件(2件掲載確定)，国際学会招待講演3件(1件発表確定)，査読付国際学会6件発表済，国際ワークショップ1件発表済，査読付国内シンポジウム4件発表済，国内学会14件発表済です。
その他の成果では，受賞4件，テレビ報道１件，新聞報道5件，ウェブ報道4件，海外大学講演1件，所属研究機関プレスリリース5件です
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