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SPアンテナ付SOIフォトダイオードを用いた光学バイオセンサーチップの開発

研究課題

研究課題/領域番号 25630143
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関静岡大学

研究代表者

佐藤 弘明  静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (00380113)

研究分担者 猪川 洋  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (50393757)
董 金華  静岡大学, グリーン科学研究所, 特任助教 (80527838)
孫 芳芳  静岡大学, グリーン科学研究所, 助教 (40714176)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2013年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワードバイオセンサー / 屈折率測定 / 表面プラズモンアンテナ / SOIフォトダイオード
研究成果の概要

本研究では、シリコンベースで光の利用効率が高く、より簡素な光学系で検体検出が可能となるSP(surface plasmon)アンテナ付SOI(silicon-on-insulator)フォトダイオードを利用した光学バイオセンサーを検討してきた。
主な成果として、(1)屈折率感度の向上、および簡素な測定を目的とした新たな評価方式の提案、および(2)水溶液対応のバイオセンサー開発を行った。他の測定手法と比べて比肩しうる屈折率感度が得られており、光源強度揺らぎ、水溶液温度揺らぎ、送液系振動の影響等を抑制すればさらに改善できるものと考えている。

報告書

(3件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (16件)

すべて 2015 2014 2013

すべて 学会発表 (13件) (うち招待講演 1件) 産業財産権 (3件)

  • [学会発表] 表面プラズモンアンテナ付SOIフォトダイオードを用いた集積化バイオセンサーにおける屈折率測定の性能評価2015

    • 著者名/発表者名
      佐藤 弘明, 岩田 将平, 小野 篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県平塚市 東海大学
    • 年月日
      2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 表面プラズモンアンテナ付フォトダイオードを用いた屈折率測定の高感度化2015

    • 著者名/発表者名
      佐藤 弘明, 岩田 将平, 小野 篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      電子情報通信学会 電子デバイス研究会/シリコン材料・デバイス研究会
    • 発表場所
      北海道札幌市 北海道大学
    • 年月日
      2015-02-05
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Refractive Index Measurement by Photodiode with Surface Plasmon Antenna Intended for Biosensing2014

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Satoh, Shohei Iwata, Atsushi Ono, Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      The 2nd Int. Conf. Nano Electronics Research and Education (ICNERE)
    • 発表場所
      静岡県浜松市 静岡大学
    • 年月日
      2014-11-24
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Recent Progress in Photodetectors Based on Silicon-On-Insulator2014

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Inokawa, Hiroaki Satoh, Atsushi Ono, Dedy Septono Catur Putranto
    • 学会等名
      International Conference on Optoelectronics and Microelectronics Technology and Application (OMTA)
    • 発表場所
      中国・天津市
    • 年月日
      2014-11-13
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 表面プラズモンアンテナ付SOIフォトダイオードを用いた1波長2ダイオード方式における屈折率感度の波長依存性2014

    • 著者名/発表者名
      岩田 将平, 佐藤 弘明, 小野 篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道札幌市 北海道大学
    • 年月日
      2014-09-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] ホールアレイ型金属回折格子付SOIフォトダイオードの斜入射光に対する分光感度特性2014

    • 著者名/発表者名
      佐藤 弘明, 岩田 将平, 小野 篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道札幌市 北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 金属回折格子によるSOIフォトダイオードの感度向上2014

    • 著者名/発表者名
      佐藤 弘明, 岩田 将平, 小野 篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      北海道室蘭市 室蘭工業大学
    • 年月日
      2014-07-17
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 集積化バイオセンサーを目指した表面プラズモンアンテナ付SOIフォトダイオードの検討2014

    • 著者名/発表者名
      岩田 将平, 佐藤 弘明, 小野 篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      電子情報通信学会 電子デバイス研究会
    • 発表場所
      愛知県豊橋市 豊橋技術科学大学
    • 年月日
      2014-07-10
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 表面プラズモンアンテナ付SOIフォトダイオードを用いた1波長2ダイオード方式による屈折率測定2014

    • 著者名/発表者名
      岩田将平, 佐藤弘明, 小野篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] ホールアレイ型金属回折格子付SOIフォトダイオードにおける分光感度特性2014

    • 著者名/発表者名
      佐藤弘明, 岩田将平, 小野篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 表面プラズモンアンテナ付SOIフォトダイオードを用いた屈折率測定2013

    • 著者名/発表者名
      岩田将平, 佐藤弘明, 小野篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学(京都府)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 同心円状金属回折格子付SOIフォトダイオードにおける分光感度の偏光依存性2013

    • 著者名/発表者名
      佐藤弘明, 岩田将平, 小野篤史, 猪川 洋
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学(京都府)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Refractive Index Measurement by SOI Photodiode with Gold Surface Plasmon Antenna2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Satoh, Shohei Iwata, Ken Kawakubo, Atsushi Ono, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      2013 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 発表場所
      リーガロイヤルホテル京都(京都府)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [産業財産権] 屈折率測定装置2015

    • 発明者名
      猪川 洋、佐藤 弘明、小野 篤史
    • 権利者名
      猪川 洋、佐藤 弘明、小野 篤史
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-027423
    • 出願年月日
      2015-02-16
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [産業財産権] 屈折率測定装置2015

    • 発明者名
      猪川 洋、佐藤 弘明、小野 篤史
    • 権利者名
      猪川 洋、佐藤 弘明、小野 篤史
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-027772
    • 出願年月日
      2015-02-16
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [産業財産権] 屈折率測定方法2013

    • 発明者名
      猪川 洋、佐藤弘明、小野篤史
    • 権利者名
      猪川 洋、佐藤弘明、小野篤史
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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