| 研究課題/領域番号 |
25630144
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
田部 道晴 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80262799)
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| 研究分担者 |
水田 博 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 教授 (90372458)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2013年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 電子デバイス・機器 / シリコンナノpn接合 / ドーパント原子 / トンネルダイオード / 高濃度ドーピング |
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| 研究成果の概要 |
本研究は、Siナノpn接合の特徴を生かした新原理デバイスとして、深いレベルをもつドナー・アクセプター準位間の共鳴トンネリングを用いた原子型トンネルダイオードを世界に先駆けて実現することを目標とした。H25年度は低温域で拡散電流にランダムテレグラフシグナル（RTS)が現れることを確認し、これがpn接合部の個別ドーパントの充放電効果であることを明らかにした（APL(2014))。H26年度は、接合部でのドーパントを介した共鳴型トンネリングを観測することが出来、これにより当初の目標を達成することができた（Si Nanoelectron. WS(2015)にて発表予定）。
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