| 研究課題/領域番号 |
25630168
|
|---|
| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 研究分野 |
計測工学
|
|---|
| 研究機関 | 筑波大学 |
|---|
研究代表者 |
村上 勝久 筑波大学, 数理物質系, 助教 (20403123)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2015年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2014年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2013年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
|
|---|
| キーワード | 導電性プローブ顕微鏡 / AFM / CAFM |
|---|
| 研究成果の概要 |
導電性プローブ顕微鏡を用いたナノスケールでの電圧印可電流計測の高感度化を目的として同軸構造の導電性プローブの試作および静電シールドの設置による変位電流の抑制について研究を実施した。集束イオンビーム加工により先端の直径約10 um以外すべてをシールドした導電性プローブの試作に成功した。また、試料側への静電シールドの設置により、導電性プローブ顕微鏡システムの寄生容量を95 %削減し、電圧電流計測における感度を10倍以上高めることが可能となった。
|
