| 研究課題/領域番号 |
25630297
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
複合材料・表界面工学
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| 研究機関 | 独立行政法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
今野 武志 独立行政法人物質・材料研究機構, 先端材料プロセスユニット, 主幹研究員 (50354171)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
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| キーワード | 電子・電気材料 / 材料加工・処理 / 微小溶接 / グロー放電 / マイクロ・ナノデバイス / 高輝度フィラメント / SEM / 高電圧放電 / フィラメント / 熱電子放出 / 電子線源 / タングステン合金 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，高電圧微小放電溶接法により，線径50μmのタングステン及びタングステン合金細線を溶接し，熱電子放出フィラメントを作製することに成功した．このフィラメントは，走査電子顕微鏡(SEM)に一般に利用されているヘアピンフィラメントより先端半径が小さく，高輝度な電子線源となることが予想される．そこで，作製したフィラメントをフィラメント用台座に溶接し，SEMの電子線源とし，実際のSEMに取り付けて画像観察を行い，ヘアピンフィラメントを用いた場合との比較を行った．その結果，試作フィラメントで撮影するほうが良好で奥行きのはっきりした画像を得られることが示された．
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