| 研究課題/領域番号 |
25630325
|
|---|
| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 研究分野 |
材料加工・組織制御工学
|
|---|
| 研究機関 | 富山大学 |
|---|
研究代表者 |
野瀬 正照 富山大学, 芸術文化学部, 教授 (70269570)
|
|---|
| 研究分担者 |
松田 健二 富山大学, 大学院理工学研究部, 教授 (00209553)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2015年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
|
|---|
| キーワード | 酸化による自己組織化 / 硬質薄膜 / 酸化物 / 窒酸化物 / インデンテーション硬さ / CrAlN/BN複合膜 / AlN/SiCN複合膜 / 部分酸化による自己組織化 / AlOxNy / 塑性変形抵抗（HIT/E*) / 反応スパッタ法 / 自己組織化 / 自己硬化 / 耐酸化性 / ナノ複相構造膜 / スパッタ膜 |
|---|
| 研究成果の概要 |
CrAlN/BN系膜は、800℃の大気中熱処理を施すと、1時間で36GPaから45GPaまで硬さが上昇し、その後緩やかに低下したが、8時間後でも37GPaの硬さを維持した。これは、膜中のAlNとBNが酸化され緻密な酸化物層が表面付近に形成されるためである。この酸化物層は、高い硬度とCrNの酸化を抑制する作用を有することが分かった。
AlN/SiCN膜では、酸素を0～5％含むAr雰囲気中、800℃×1時間熱処理すると硬さが約28GPaから最高で31GPaまで上昇した。この場合も、緻密な窒酸化物層(AlOxNy)が表面付近に形成されるためであることがわかった。
|
