| 研究課題/領域番号 |
25630329
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
材料加工・組織制御工学
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| 研究機関 | 鳥取大学 |
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研究代表者 |
川添 博光 鳥取大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (40260591)
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| 連携研究者 |
山田 剛治 鳥取大学, 大学院工学研究科, 助教 (90588831)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2013年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 低温プラズマ / 表面波プラズマ / 低電離プラズマ / 電子密度 / 電子温度 / 表面改質 / SWP: Surface Wave Plasma / Electron temperature / Electron number density / Plasma Absorption Plobe / Double Plobe Method |
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| 研究成果の概要 |
SWPの物理特性を解明するため、単純形状チャンバのSWP発生器を構築し、銅表面のぬれ特性を調査した。SWP特性を従来手法（ボルツマンプロット、PAP、ダブルプローブ）、新たにCR(衝突-輻射)モデルを構築して電子温度を探った。二波長マッハツェンダ法の可能性についても調査した。ぬれ特性はチャンバ内位置によって変化し、電子励起温度はArが約4000Kで、酸素より2000Kほど高い。電子密度は10の(11～12)乗個/ccで中央部が高い。CRモデルから電子温度は26700Kと推定され、これはダブルプローブによる28400Kに近い。二波長マッハツェンダ干渉法は干渉縞が観測されその可能性を確認した。
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