| 研究課題/領域番号 |
25630346
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
化工物性・移動操作・単位操作
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| 研究機関 | 広島大学 |
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研究代表者 |
滝嶌 繁樹 広島大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10188120)
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| 研究分担者 |
春木 将司 広島大学, 大学院・工学研究院, 助教 (90432682)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2013年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
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| キーワード | 超臨界流体 / 半導体成膜 / 有機金属錯体 / 蒸着 / 複合金属膜 / 二酸化炭素 / 半導体 / 金属薄膜 / 成膜 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、まず、超臨界流体蒸着法による無機薄膜作製に必要となる金属錯体(前駆体)溶解度推算の基礎的検討として、Peng-Robinson状態方程式を用いた相関法について検討し、その際必要となる金属錯体の昇華圧を測定した。相関結果は実験結果を良好に再現した。次に、撹拌静置型の超臨界蒸着装置を新規に作製し、蒸着に対する撹拌の影響について、シリコンウエハ上への銅薄膜の蒸着によって検討した。その結果、本研究の操作範囲では、撹拌速度の上昇に伴い薄膜形状は良いものとなり、電気抵抗も減少した。さらに、2種の金属錯体からの同時蒸着によるコバルト－フェライト薄膜の作製について検討した。
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