| 研究課題/領域番号 |
25630424
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
原子力学
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| 研究機関 | 北海道大学 |
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研究代表者 |
藤吉 亮子 北海道大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (70229061)
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| 研究分担者 |
岡本 一将 北海道大学, 大学院工学研究院, 助教 (10437353)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2015年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2014年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2013年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | レジスト / パルスラジオリシス / レーザーフォトリシス / 放射線 / X線 / 粒子線 / 放射線化学 / フッ素化合物 / Ｘ線 / 半導体超微細化 / 電子線 / リソグラフィ / フォトリシス / 放射線、X線、粒子線 / 量子ビーム / 放射線科学 |
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| 研究成果の概要 |
レジスト材料の感度増加を目指すため、電子線とレーザーまたはXe光を同時または逐次的に照射する新規プロセスについて研究を行った。電子加速器からの電子線とNd:YAGレーザーを逐次的に照射する「パルスラジオリシス－レーザーフォトリシス法」による光吸収分光実験により、レジスト分子の電子線誘起中間体の光分解反応が起こることを明らかにした。さらに、電子線とXeランプの可視光域の同時照射を行い、レジスト感度が増加することを示し、本プロセスの有効性を明らかにした。
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