| 研究課題/領域番号 |
25706003
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| 研究種目 |
若手研究(A)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 研究分野 |
ナノ構造物理
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| 研究機関 | 静岡大学 (2015)
富山大学 |
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研究代表者 |
堀 匡寛 静岡大学, 電子工学研究所, 講師 (50643269)
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| 研究協力者 |
小野 行徳 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80374073)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
24,960千円 (直接経費: 19,200千円、間接経費: 5,760千円)
2015年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2014年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
2013年度: 15,210千円 (直接経費: 11,700千円、間接経費: 3,510千円)
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| キーワード | 量子準位 / チャージポンピング法 / 電子スピン共鳴法 / EDMR / シリコン / MOSFET / 界面欠陥 / ドーパント原子 / シリコントランジスタ / 局在準位 / 電子捕獲過程 / 半導体物性 / 電子スピン共鳴 / EDMR法 / 不純物原子 |
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| 研究成果の概要 |
本研究課題では、シリコントランジスタ上で電荷とスピンを精密に制御することを最終目的として、２つの基盤技術を確立した。一つは、実時間領域で電流を検出する手法「実時間チャージポンピング法」である。当該手法を用いることで、局在準位（半導体中のドーパント原子や界面欠陥の準位）での電荷の動的挙動を詳細に解析することが可能となった。もう一つは、電子スピン共鳴を電気的に読み出す手法「EDMR(Electrically detected magnetic resonance)法」である。ここでは特に、欠陥準位での電子正孔再結合過程に基づくEDMR信号を取得することに成功した。
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