ナノ加工によるSi熱電変換デバイスの創製

• 研究課題/領域番号: 25709090
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 一部基金
• 研究分野: エネルギー学
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 野村 政宏 東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (10466857)
• 研究期間 (年度): 2013-04-01 – 2016-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2015年度)
• 配分額: 24,960千円 (直接経費: 19,200千円、間接経費: 5,760千円); 2015年度: 6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円); 2014年度: 7,930千円 (直接経費: 6,100千円、間接経費: 1,830千円); 2013年度: 10,790千円 (直接経費: 8,300千円、間接経費: 2,490千円)
• キーワード: phonon engineering / phononics / phononic crystal / thermoelectrics / フォノニクス / フォノニック結晶 / フォノンエンジニアリング / フォノン / 熱電変換 / 環境発電 / ナノ構造伝熱 / 伝熱

研究成果の概要

フォノニック結晶と呼ばれる周期ナノ構造を用いて熱伝導を制御し、低環境負荷なシリコンを用いた熱電変換デバイスへの応用を行った。正方格子状に円孔が配列したシリコン薄膜を用いて、ナノワイヤーや薄膜と熱伝導率を比較した。熱フォノンの平均自由行程が数桁にもわたるマルチスケール性を認識し、適切に材料を設計することで効率よく熱伝導率を低減できることを示した。この技術を用いて多結晶シリコン熱電変換材料を作製し、３倍の性能向上を達成した。また、世界で初めてフォノニック結晶の短距離秩序制御による熱伝導率チューニングを実現した。これは、伝熱制御技術を粒子的領域から波動的領域に拡張するマイルストーン的成果となった。

研究成果

• [国際共同研究] フライブルク大学/工学部マイクロシステム工学科/Oliver Paul(ドイツ)
• [国際共同研究] CNRS/CentraleSupélec/Sebastian Volz(フランス)
• [雑誌論文] Reduction of thermal conductance in two-dimensional phononic crystals by coherent phonon scattering (2016)
  • 著者名/発表者名: R. Anufriev and M. Nomura
  • 雑誌名: Phys. Rev. B 巻: 93 号: 4 ページ: 045410-045410
  • DOI: 10.1103/physrevb.93.045410
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Reduction of thermal conductance in two-dimensional phononic crystals by coherent phonon scattering (2016)
  • 著者名/発表者名: R. Anufriev, J. Maire and M. Nomura
  • 雑誌名: Phys. Rev. B 巻: 93 号: 4 ページ: 045411-045411
  • DOI: 10.1103/physrevb.93.045411
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Heat conduction in nanostructured materials (2016)
  • 著者名/発表者名: S. Volz, J. Shiomi, M. Nomura, and K. Miyazaki
  • 雑誌名: Journal of Thermal Science and Technology 巻: 11 号: 1 ページ: JTST0001-JTST0001
  • DOI: 10.1299/jtst.2016jtst0001
  • NAID: 130005121057
  • ISSN: 1880-5566
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Control of Phonon Transport by Phononic Crystals and Application to Thermoelectric Materials (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 雑誌名: Materials Transactions 巻: -
  • NAID: 130005105613
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Near-field radiative heat transfer: The heat through the gap (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 雑誌名: Nature Nanotechnology 巻: - 号: 6 ページ: 496-497
  • DOI: 10.1038/nnano.2016.24
  • 査読あり
• [雑誌論文] Crystal structure dependent thermal conductivity in two-dimensional phononic crystal nanostructures (2015)
  • 著者名/発表者名: J. Nakagawa, Y. Kage, T. Hori, J. Shiomi, and M. Nomura
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 巻: 107 号: 2 ページ: 023104-023104
  • DOI: 10.1063/1.4926653
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] フォノニック結晶によるフォノン輸送制御と熱電材料への応用 (2015)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏
  • 雑誌名: 日本金属学会誌 巻: 79 ページ: 555-561
  • NAID: 130005105613
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] フォトニクスからフォノニクスへ～熱フォノニクスによる熱伝導制御～ (2015)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏
  • 雑誌名: 日本機械学会誌 巻: 77 ページ: 7-12
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Thermal conductance boost in phononic crystal nanostructures (2015)
  • 著者名/発表者名: R. Anufriev and M. Nomura
  • 雑誌名: Phys. Rev. B. 巻: 91 号: 24 ページ: 24517-24517
  • DOI: 10.1103/physrevb.91.245417
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Electrical and thermal properties of polycrystalline Si thin films with phononic crystal nanopatterning for thermoelectric applications (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura, Y. Kage, D. Muller, D. Moser, and O. Paul
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 巻: 106 号: 22 ページ: 223106-223106
  • DOI: 10.1063/1.4922198
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Impeded thermal transport in Si multiscale hierarchical architectures with phononic crystal nanostructures (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura, Y. Kage, J. Nakagawa, T. Hori, J. Maire, J. Shiomi, R. Anufriev, D. Moser, and O. Paul
  • 雑誌名: Phys. Rev. B 巻: 91 ページ: 205422-205422
  • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Phononic band engineering for thermal conduction control and similarity with photonic band engineering (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 雑誌名: J. of Microsys. Technol. 巻: 22 ページ: 473-473
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Thermal phonon transport in silicon nanowires and two-dimensional phononic crystal nanostructures (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura, J. Nakagawa, Y. Kage, J. Maire, D. Moser, and O. Paul
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 巻: 106 号: 14 ページ: 143102-143102
  • DOI: 10.1063/1.4917036
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Thermal conductance of silicon interfaces directly bonded by room-temperature surface activation (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Sakata, T. Oyake, J. Maire, M. Nomura, E. Higurashi, and J. Shiomi
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 巻: 106 号: 8 ページ: 081603-081603
  • DOI: 10.1063/1.4913675
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Towards heat conduction control by phononic nanostructures (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura and J. Maire
  • 雑誌名: Thermal Science and Engineering 巻: 53 ページ: 67-67
  • NAID: 130004842748
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Mechanism of reduced thermal conduction in fishbone type Si phononic crystal nanostructures (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura and J. Maire
  • 雑誌名: J. of Electron. Matter. 巻: 44 号: 6 ページ: 1426-1426
  • DOI: 10.1007/s11664-014-3387-8
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Reduced thermal conductivities of Si 1D periodic structure and Nanowires (2014)
  • 著者名/発表者名: J. Maire and M. Nomura
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: 53 号: 6S ページ: 06JE09-06JE09
  • DOI: 10.7567/jjap.53.06je09
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] ナノ構造化によるコヒーレント熱伝導制御と熱電変換応用 (2014)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏
  • 雑誌名: 固体物理 巻: 49 ページ: 1-1
  • NAID: 40020253853
  • 謝辞記載あり
• [学会発表] Reduction of thermal conductivity in periodic silicon nanostructures (2016)
  • 著者名/発表者名: R. Anufriev, J. Maire, and M. Nomura
  • 学会等名: Compound Semiconductor Week (CSW) 2016
  • 発表場所: 富山（国際会議場）
  • 年月日: 2016-06-27
  • 国際学会
• [学会発表] Nanoscale heat transport in single-crystalline Si and amorphous SiGe phononic crystals (2016)
  • 著者名/発表者名: J. Nakagawa, J. Maire, K. Sawano, and M. Nomura
  • 学会等名: Compound Semiconductor Week (CSW) 2016
  • 発表場所: 富山（国際会議場）
  • 年月日: 2016-06-26
  • 国際学会
• [学会発表] フォノニック結晶ナノ構造による熱伝導制御 (2016)
  • 著者名/発表者名: 野村 政宏
  • 学会等名: 日本物理学会第71回年次大会
  • 発表場所: 仙台（東北学院大学泉キャンパス）
  • 年月日: 2016-03-19
  • 招待講演
• [学会発表] TDTR法を用いたテラヘルツ検出用GaAs MEMS両持ち梁構造の評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 細野 優, 張 亜, メール ジェレミ, 長井 奈緒美, 肥後 昭男, 中野 義昭, 野村 政宏, 平川 一彦
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京（東京工業大学大岡山キャンパス）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] アモルファスSiGeフォノニック結晶ナノ構造の熱伝導 (2016)
  • 著者名/発表者名: 中川純貴, Jeremie Maire, 澤野 憲太郎, 野村 政宏
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京（東京工業大学大岡山キャンパス）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] フォノニック結晶におけるネック効果による熱伝導率の低減 (2016)
  • 著者名/発表者名: 柳澤 亮人, アヌフリエフ ロマン, メール ジェレミ, 野村 政宏
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京（東京工業大学大岡山キャンパス）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] Thermal conduction control by thermal phononics and its mechanism (2016)
  • 著者名/発表者名: Jeremie Maire, Roman Anufriev, Ryoto Yanagisawa, Sebastian Volz, and Masahiro Nomura
  • 学会等名: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京（東京工業大学大岡山キャンパス）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] Crystal structure dependent thermal conductivity in 2D phononic crystals (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura, J. Nakagawa, J. Maire, and A. Roman
  • 学会等名: Pacific Rim Thermal Engineering Conference
  • 発表場所: コナ（アメリカ）
  • 年月日: 2016-03-14
  • 国際学会
• [学会発表] Thermal phonon engineering for thermoelectric materials (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 学会等名: EMN Spring Meeting 2016
  • 発表場所: 台北（台湾）
  • 年月日: 2016-03-08
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Silicon phononic crystals for thermoelectric applications (2016)
  • 著者名/発表者名: J. Maire, O. Paul and M. Nomura
  • 学会等名: EMN Meeting on Thrmoelectric Materials 2016
  • 発表場所: オーランド（アメリカ）
  • 年月日: 2016-02-21
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] シリコンフォノニクスと応用への展望 (2015)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏
  • 学会等名: 応用物理学会応用電子物性研究会
  • 発表場所: 東京（金沢工業大学大学院 虎ノ門キャンパス）
  • 年月日: 2015-11-25
  • 招待講演
• [学会発表] シリコンフォノニック結晶による熱伝導率チューニングの実現 (2015)
  • 著者名/発表者名: メール ジェレミ，アヌフリエフ ロマン，野村 政宏
  • 学会等名: 第 7 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • 発表場所: 新潟（朱鷺メッセ）
  • 年月日: 2015-10-28
• [学会発表] Heat Transfer in Phononic Crystal Nanostructures and Thermoelectric Applications (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 学会等名: 12th International Conference on Flow Dynamics
  • 発表場所: 仙台（国際会議場）
  • 年月日: 2015-10-27
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] フォノニック結晶ナノパターニングによる多結晶Si薄膜の熱電変換能の増強 (2015)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏, 鹿毛雄太, David Muller, Dominik Moser, and Oliver Paul
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋（名古屋国際会議場）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] Si二次元フォノニック結晶ナノ構造における熱伝導率の結晶構造依存性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 中川 純貴, 鹿毛 雄太, Maire Jeremie, 野村政宏
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋（名古屋国際会議場）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] サーモクリスタルを用いた熱伝導制御 (2015)
  • 著者名/発表者名: 野村 政宏, Maire Jeremie, Anufriev Roman, 中川 純貴
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋（名古屋国際会議場）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] Thermal conduction control by phononic crystal nanostructures (2015)
  • 著者名/発表者名: Jeremie Maire, Roman Anufriev, and Masahiro Nomura
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋（名古屋国際会議場）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] 線形弾性理論による一次元フォノニック結晶の熱伝導率解析 (2015)
  • 著者名/発表者名: 柳澤 亮人, Roman Anufriev, 野村政宏
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋（名古屋国際会議場）
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] Thermal conductivity tuning by disorder in Silicon phononic crystal (2015)
  • 著者名/発表者名: J. Maire, R. Anufriev, and M. Nomura
  • 学会等名: Phonons 2015
  • 発表場所: ノッティンガム（イギリス）
  • 年月日: 2015-07-12
  • 国際学会
• [学会発表] Efficient reduction of thermal conductivity in Si multiscale architecture (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura, Y. Kage, J. Nakagawa, T. Hori, J. Maire, J. Shiomi, D. Moser, and O. Paul
  • 学会等名: 34th Annual International Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: ドレスデン（ドイツ）
  • 年月日: 2015-06-28
  • 国際学会
• [学会発表] Thermophysical property of poly-Si phononic crystals for thermoelectrics (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura and O. Paul,
  • 学会等名: International Conference on Ceramic Materials and Components for Energy and Environmental Applications
  • 発表場所: バンクーバー（カナダ）
  • 年月日: 2015-06-14
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Multiple-Scale Phonon Transport Control by Polycrystalline Si Phononic Crystal Nanostructures (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura, Y. Kage, J. Nakagawa, J. Maire, D. Moser, and O. Paul
  • 学会等名: Phononics 2015
  • 発表場所: パリ（フランス）
  • 年月日: 2015-05-31
  • 国際学会
• [学会発表] Impact of the Phononic Structure Design on the Reduction of Thermal Conductivity (2015)
  • 著者名/発表者名: R. Anufriev, J. Maire, and M. Nomura
  • 学会等名: Phononics 2015
  • 発表場所: パリ（フランス）
  • 年月日: 2015-05-31
  • 国際学会
• [学会発表] Large reduction in thermal conductivity of polycrystalline Si by phononic patterning (2015)
  • 著者名/発表者名: Y. Kage, J. Maire, D. Moser, O. Paul, and M. Nomura
  • 学会等名: MRS Spring Meeting
  • 発表場所: サンフランシスコ（アメリカ）
  • 年月日: 2015-04-06
  • 国際学会
• [学会発表] Thermal conductivity reduction mechanism in Si 1D phononic crystals at room temperature (2015)
  • 著者名/発表者名: J. Maire, T. Hori, J. Shiomi, and M. Nomura
  • 学会等名: MRS Spring Meeting
  • 発表場所: サンフランシスコ（アメリカ）
  • 年月日: 2015-04-06
  • 国際学会
• [学会発表] フォノンの波動性を利用した熱伝導制御 (2015)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学 湘南キャンパス
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
  • 招待講演
• [学会発表] マルチスケールフォノンブロッキングによる熱伝導の低減効果 (2015)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏, 鹿毛 雄太、中川 純貴、Maire Jeremie、Moser Dominik、Paul Oliver
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学 湘南キャンパス
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] Impact of the phononic structure design on the reduction of thermal conductivity (2015)
  • 著者名/発表者名: Roman Anufriev and Masahiro Nomura
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学 湘南キャンパス
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] Thermal conductivity reduction mechanism in Si 1D phononic crystals at room temperature (2015)
  • 著者名/発表者名: Jeremie Maire, Takuma Hori, Junichiro Shiomi, Masahiro Nomura
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学 湘南キャンパス
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] 非対称シリコンナノ構造における熱伝導に関する研究 (2015)
  • 著者名/発表者名: 鹿毛 雄太、萩野 春俊、宮崎 康次、Maire Jeremie、野村 政宏
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学 湘南キャンパス
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] 結晶Si二次元フォノニック結晶における熱伝導率の空隙率依存性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 中川 純貴、鹿毛 雄太、Jeremie Mair、野村 政宏
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学 湘南キャンパス
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] フォノニック結晶の展望 (2014)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏
  • 学会等名: 伝熱学会・特定推進研究課題「ナノスケール伝熱機能発現とその応用への展望」冬の学校
  • 発表場所: 大分県別府市
  • 年月日: 2014-12-12
  • 招待講演
• [学会発表] シリコン接合界面の構造と熱コンダクタンスの関係 (2014)
  • 著者名/発表者名: 坂田 昌則，小宅 教文, Jeremie Maire, 日暮 栄治, 野村 政宏, 塩見 淳一郎
  • 学会等名: 第35回日本熱物性シンポジウム
  • 発表場所: 東京工業大学 大岡山キャンパス
  • 年月日: 2014-11-22 – 2014-11-24
  • 招待講演
• [学会発表] Reduced thermal conductivity in 1D and 2D phononic crystal n4anostructures (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura, J. Maire, Y. Kage, D. Moser, and O. Paul
  • 学会等名: Eurotherrm 103, Nanoscale and Microscale Heat Transfer IV
  • 発表場所: Lyon, France
  • 年月日: 2014-10-15 – 2014-10-17
• [学会発表] 強磁性体球形光共振器を用いた磁気光学効果の観測 (2014)
  • 著者名/発表者名: 長田有登, 久富隆佑, 野口篤史, 田渕豊, 山崎歴舟, M. Sadgrove, R. Yalla, 野村政宏, 宇佐見康二, 中村泰信
  • 学会等名: 日本物理学会
  • 発表場所: 中部大学（春日井キャンパス）
  • 年月日: 2014-09-18 – 2014-09-21
• [学会発表] 単結晶および多結晶シリコンナノワイヤーの熱伝導特性比較 (2014)
  • 著者名/発表者名: 鹿毛雄太，Maire Jeremie，Moser Dominik，Paul Oliver，野村政宏
  • 学会等名: 第75会応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス(北海道札幌市北区北8条西5丁目)
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] Temperature dependence of thermal conductivity for Si nanostructures (2014)
  • 著者名/発表者名: Jeremie Maire, 野村政宏
  • 学会等名: 第75会応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス(北海道札幌市北区北8条西5丁目)
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] Thermal conduction control by phononic crystal nanostructures (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 学会等名: 8th US-Japan Joint Seminar on Nanoscale Transport Phenomena
  • 発表場所: Santa Cruz, USA
  • 年月日: 2014-07-13 – 2014-07-16
  • 招待講演
• [学会発表] Thermal conduction engineering by 1D phononic crystal nanostructures (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 学会等名: International Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: Nashville, USA
  • 年月日: 2014-07-06 – 2014-07-10
  • 招待講演
• [学会発表] Thermal conduction control by phonon-band engineering and application to thermoelectrics (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 学会等名: Photonic North 2014
  • 発表場所: Montreal, Canada
  • 年月日: 2014-05-28 – 2014-05-30
  • 招待講演
• [学会発表] フォノニックナノ構造による伝熱制御にむけて (2014)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏, Jeremie Maire
  • 学会等名: 第51回日本伝熱シンポジウム
  • 発表場所: アクトシティ浜松・コングレスセンター（静岡県浜松市）
  • 年月日: 2014-05-21 – 2014-05-23
  • 招待講演
• [学会発表] 焼結シリコン界面の熱コンダクタンス (2014)
  • 著者名/発表者名: 坂田昌則，小宅教文，Jeremie Maire，堀琢磨，野村政宏，塩見淳一郎
  • 学会等名: 第51回日本伝熱シンポジウム
  • 発表場所: アクトシティ浜松・コングレスセンター（静岡県浜松市）
  • 年月日: 2014-05-21 – 2014-05-23
• [学会発表] Reduced thermal conduction in Si nanowires and phononic crystal nanostructures fabricated using EB lithography (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura and J. Maire
  • 学会等名: The 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
  • 発表場所: Hawaii, USA
  • 年月日: 2014-04-13 – 2014-04-16
• [学会発表] From photonic to phononic - toward heat transfer control by MEMS nanostructures (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 学会等名: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS
  • 発表場所: Cannes, France
  • 年月日: 2014-04-01 – 2014-04-04
  • 招待講演
• [学会発表] シリコン一次元周期ナノ構造における熱伝導率低減の起源に関する考察 (2014)
  • 著者名/発表者名: Jeremie Maire，堀琢磨，塩見淳一郎，野村政宏
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川
• [学会発表] Thermal Conductivity in 1D and 2D Phononic Crystal Nanostructures (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Maire and M. Nomura
  • 学会等名: 2013 Material Research Society Fall meeting
  • 発表場所: Boston, USA
• [学会発表] Reduced Thermal Conductivities of Si 1D Phononic Crystal and Nanowire (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Maire and M. Nomura
  • 学会等名: 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: Sapporo, Japan
• [学会発表] Thermal conductivity measurements in phononic crystal nanostructures (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Maire and M. Nomura
  • 学会等名: International NAMIS Autumn School
  • 発表場所: Seoul, Korea
• [学会発表] Theoretical analyses of coherent effect of phononic crystal nanostructures on heat transfer in Si (2013)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 学会等名: The 18th International Conference on Electron Dynamics in Semiconductors, Optoelectronics and nanostructures
  • 発表場所: Matsue, Japan
• [学会発表] Reduced thermal conductivity in a 1D Si phononic crystal nanostructure (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Maire and M. Nomura
  • 学会等名: The 18th International Conference on Electron Dynamics in Semiconductors, Optoelectronics and nanostructures
  • 発表場所: Matsue, Japan
• [学会発表] Si phononics for thermoelectrics (2013)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 学会等名: 11th Nano and Microsystems (NAMIS) workshop
  • 発表場所: Seattle, USA
  • 招待講演
• [学会発表] Toward Si thermoelectric devices based on phononics (2013)
  • 著者名/発表者名: M. Nomura
  • 学会等名: LIMMS Workshop ;Beyond the Frontiers of Nanoscience and Biosystems
  • 発表場所: Paris, France
  • 招待講演
• [学会発表] Siナノ構造における熱伝導率の低減 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏, Jeremie Maire
  • 学会等名: 第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • 発表場所: 宮城
• [学会発表] シリコンフォノニックナノ構造の熱伝導率測定 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏, Jeremie Maire
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 京都
• [学会発表] フォノニックナノ構造を用いた熱伝導制御の検討 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野村政宏
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 京都
• [学会発表] 一次元Ｓｉフォノニック結晶ナノ構造の熱伝導率測定 (2013)
  • 著者名/発表者名: Jeremie Maire, 野村政宏
  • 学会等名: 第74回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 京都
• [図書] エネルギーハーベスティングの設計と応用展開 (2015)
  • 著者名/発表者名: 桑野博喜、竹内敬治編集 分担執筆：野村政宏
  • 総ページ数: 241
  • 出版者: シーエムシー出版
• [備考] 野村研究室ホームページ
  • URL: http://www.nlab.iis.u-tokyo.ac.jp/
• [備考] 東京大学生産技術研究所 野村研究室
  • URL: http://www.nlab.iis.u-tokyo.ac.jp/index.html
• [備考] 東京大学生産技術研究所 野村研究室ホームページ
  • URL: http://www.nlab.iis.u-tokyo.ac.jp/index.html