• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

半導体製造工程における統計的工程管理

研究課題

研究課題/領域番号 25750120
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 社会システム工学・安全システム
研究機関名古屋工業大学 (2015-2016)
筑波大学 (2013-2014)

研究代表者

川村 大伸  名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50548261)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2016年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2014年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2013年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
キーワード統計的工程管理 / 実験計画法 / 品質管理 / 半導体製造 / 管理図 / 多品種少量生産 / ベイズ統計学 / 過飽和計画 / ベイズ統計 / 統計的品質管理 / 多変量管理図
研究成果の概要

伝統的な統計的工程管理では,少品種大量生産が想定されているため,半導体製造工程のような多品種少量生産が主である工程に対しては,新たな管理方法が求められている.本研究の主な成果としては,ベイズ統計学を用いた管理図の開発,多変量管理図の有用性の検討,過飽和計画の性能評価結果を基にしたガイドラインの作成が挙げられる.

報告書

(5件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2016 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 5件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 5件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Multifaceted Evaluation of 2-Level Supersaturated Designs2016

    • 著者名/発表者名
      Tomohiro Nakajima, Hironobu Kawamura
    • 雑誌名

      Total Quality Science

      巻: 2 ページ: 48-59

    • NAID

      130005167411

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Multifaced Evaluation of Supersaturared Designs2015

    • 著者名/発表者名
      Tomohiro Nakajima, Hironobu Kawamura
    • 雑誌名

      Proceedings of the thirteenth ANQ Congress

      巻: 13 ページ: 1-12

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] A Xbar-chart Using the Bayesian Method for Monitoring High-Mix Low-Volume Production2015

    • 著者名/発表者名
      Yasunari Tsuruoka, Hironobu Kawamura
    • 雑誌名

      Proceedings of the thirteenth ANQ Congress

      巻: 13 ページ: 1-14

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ”2014

    • 著者名/発表者名
      東出政信,仁科健,川村大伸
    • 雑誌名

      品質

      巻: 44 ページ: 341-350

    • NAID

      110009833208

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 半導体製造におけるプロセス管理2014

    • 著者名/発表者名
      川村大伸
    • 雑誌名

      品質

      巻: 44 ページ: 276-279

    • NAID

      110009833197

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Application of Q Charts for Short-Run Autocorrelated Data2013

    • 著者名/発表者名
      Kawamura,H.,Nishina,K.,Higashide,M.and Suzuki,T.
    • 雑誌名

      International Journal of Innovative Computing, Information and Control

      巻: 9 ページ: 3667-3676

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 多品種少量生産に対するベイズQ管理図2016

    • 著者名/発表者名
      鶴岡靖成,川村大伸
    • 学会等名
      日本品質管理学会第46回年次大会
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] ウエーハ内変動パターンに同期したCMP装置異常の検出2016

    • 著者名/発表者名
      東出政信,仁科健,川村大伸,杉浦遼太
    • 学会等名
      精密工学会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] The Detection of Process Variation Synchronous within Wafer Variation Pattern2015

    • 著者名/発表者名
      Masanobu HIGASHIDE, Ken NISHINA, Hironobu KAWAMURA, Ryota SUGIURA
    • 学会等名
      AEC/APC Symposium Asia 2015
    • 発表場所
      学術総合センター
    • 年月日
      2015-11-11
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 多品種少量生産用の管理図2013

    • 著者名/発表者名
      川村大伸,仁科健,東出政信
    • 学会等名
      第5回横幹連合コンファレンス
    • 発表場所
      香川大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi