| 研究課題/領域番号 |
25790036
|
|---|
| 研究種目 |
若手研究(B)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
|
|---|
| 研究機関 | 富山県立大学 |
|---|
研究代表者 |
竹井 敏 富山県立大学, 工学部, 准教授 (90580069)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2015年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2014年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2013年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
|
|---|
| キーワード | 水溶性 / 微細加工 / 極端紫外光 / 電子線 / リソグラフィ / 水現像 / バイオマス / 糖鎖 / レジスト / 感光性 / 植物の高度利用 / デンプン / 植物 |
|---|
| 研究成果の概要 |
天然の多糖類を極端紫外光や電子線リソグラフィの環境適応型レジスト高分子に用いる研究アプローチは、現像プロセスにおいて既存の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液や有機溶媒の代替えとして、純水を使用できることを示した。水現像性に影響する重量平均分子量と水酸基を最適化した環境適合型レジスト材料は、200 mmウエハー上のスピン塗布性、波長6.7 と13.5 nmでのEUV予測感度特性、EB照射前後での高いコントラスト、照射量7 µC/cm2において直径100-400 nmのピラーパターンの解像性を有することを見出した。
|
