研究課題
若手研究(B)
本研究は、近年開拓が進む長波長中間赤外線天文観測の効率化に有効な、高効率かつ冷却耐性のあるグリズムの実現をめざすものである。高効率化に重要な反射防止機構として、冷却耐性も期待できるモスアイ構造に着目し、シリコングリズムの両面にモスアイ加工を施した「両面モスアイシリコングリズム」を実現するための加工プロセスの確立と最適化を進めてきた。結果、両面モスアイシリコングリズムを完成させることができた。
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Proceedings of the SPIE
巻: 9151 ページ: 91515G-91515G
10.1117/12.2055756