| 研究課題/領域番号 |
25800303
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
田中 のぞみ 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センタ, 特任研究員(常勤) (60581296)
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| 研究協力者 |
西村 博明 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 教授 (60135754)
村上 匡且 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 教授 (80192772)
砂原 淳 公益財団法人レーザー技術総合研究所 (00370213)
増田 将也 大阪大学, 工学研究科・レーザーエネルギー学研究センター, 修士課程学生
永富 健介 近畿大学, 理工学部, 学部学生
出口 亮 大阪大学, 工学研究科・レーザーエネルギー学研究センター, 修士課程学生
和田 直 大阪大学, 工学研究科・レーザーエネルギー学研究センター, 修士課程学生
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2014年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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| キーワード | 極端紫外(EUV)光 / 物質アブレーション / プラズマ膨張 / 粒子計測 / 物質加熱 / 極端紫外光 / 光電離 / 極端紫外(EUV)光アブレーション / 光量子ビーム応用 / プラズマ加熱 / プラズマ診断 / 極端紫外光アブレーション |
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| 研究成果の概要 |
波長数-数10 nmの領域にある極端紫外(EUV)光の応用研究が注目されてきている。EUV光は原理的に従来の長波長レーザーとは一線を画す特徴的な物質との相互作用を起こす。特にEUV光による物質アブレーションは材料加工など様々な分野での応用が期待できるが、その物理的な機構や従来のレーザーアブレーションとの差異はほとんど明らかにされていなかった。
本研究では、アブレーションの最終過程である膨張粒子の実験的計測とプラズマパラメータのモデル計算を用いて、原理的に予測されうる高密度低温度のプラズマの生成、低い電離度、直線的なプラズマ膨張など、レーザーとは明確に異なるアブレーションメカニズムを明らかにした。
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