| 研究課題/領域番号 |
25820012
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
中谷 正憲 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (80581553)
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| 連携研究者 |
内田 仁 兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 教授 (30047633)
原田 泰典 兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 教授 (30218656)
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| 研究協力者 |
清水 翔太 兵庫県立大学, 大学院工学研究科
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2014年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2013年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | セラミックスコーティング / 表面改質 / 摩擦 / 摩耗 / 密着性 / フレッティング疲労 / 表面構造 / セラミックコーティング / ショットピーニング / 濡れ |
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| 研究成果の概要 |
成膜中の基板姿勢制御により表面にスケールの異なる微細構造を付与するセラミックスコーティング技術を確立するとともに，その摩耗特性を評価した．また，セラミックスコーティングの密着性改善についても検討した．基板を面外方向に回転させながら成膜を行うことによって，サブナノメートルオーダの島状構造およびその表面には数十ナノメートルオーダの凹凸を有するTiN薄膜を作製することができた．その表面性状を制御することによって，平滑な薄膜に比べて摩擦・摩耗特性は大幅に向上した．また，成膜において組成傾斜層を設けることによって，密着性およびフレッティング疲労特性を改善することが可能であることを明らかにした．
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