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位相計測ディフレクトメトリ法による干渉計測の測定精度の相互保証体系の構築

研究課題

研究課題/領域番号 25820025
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関光産業創成大学院大学

研究代表者

花山 良平  光産業創成大学院大学, 光産業創成研究科, 講師 (20418924)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2014年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2013年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワード形状計測 / 位相計測ディフレクトメトリ / 金型 / 超精密計測 / 計測工学 / 光干渉計測 / 非球面 / 自由曲面
研究成果の概要

広いダイナミックレンジが必要な非球面や自由曲面等の複雑曲面形状を数nm程度の高い分解能で測定可能な位相計測ディフレクトメトリ法を用いた形状測定装置の開発を行った。位相計測ディフレクトメトリと干渉計測は相補的な関係にあり、両者を融合することで高い信頼性を有する形状計測手法が構築可能である。
離散的な縞に基づく位相計測ディフレクトメトリでの位相検出制度について検討を行い、離散的な画素構造と輝度階調を有することによる位相計測誤差は1/1000波長程度であった。これは測定対象面により偏向された視線が見通す先の位置を液晶モニタの画素間隔の1/1000程度の分解能で決定可能であることを示している。

報告書

(3件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて 2014

すべて 学会発表 (3件)

  • [学会発表] a trial for a reliable shape measurement using interferometry and deflectometry2014

    • 著者名/発表者名
      Ryohei Hanayama
    • 学会等名
      Interferometry XVII
    • 発表場所
      San Diego Convention Center
    • 年月日
      2014-08-17 – 2014-08-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書 2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 位相計測ディフレクトメトリと干渉計測による高信頼性精密形状計測の試み2014

    • 著者名/発表者名
      花山 良平
    • 学会等名
      第53回光波センシング技術研究会
    • 発表場所
      東京理科大学 神楽坂後者
    • 年月日
      2014-06-18 – 2014-06-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 位相計測ディフレクトメトリと干渉計測による高信頼性精密形状計測の試み2014

    • 著者名/発表者名
      花山 良平
    • 学会等名
      第53回光波センシング技術研究会
    • 発表場所
      東京理科大学 神楽坂校舎
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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