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新規手法による配向性チタン酸バリウム膜の形成機構と配向制御技術に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 25820130
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関富山県工業技術センター

研究代表者

坂井 雄一  富山県工業技術センター, その他部局等, 主任研究員 (70416155)

研究協力者 二口 友昭  
安達 正利  
唐木 智明  
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2014年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワード配向性厚膜 / スクリーン印刷 / 強誘電体 / 圧電体 / チタン酸バリウム / 厚膜 / 配向 / 非鉛系強誘電体
研究成果の概要

電子部品等で使用される強誘電体材料であるBaTiO3について、スクリーン印刷法での厚膜形成について検討した。厚膜はパターニングが容易で量産性に優れるが、バルクセラミックスに並ぶ電気特性を得ることは困難であった。そこで、スクリーン印刷を利用した配向性厚膜形成手法について検討した。添加物により粒成長を促すとともに、基板からの応力を利用することで分極軸方向へ配向した厚膜が形成可能であり、特性が向上することを見出した。この手法を用い、(BaCa)(TiZr)O3系の配向性厚膜を作製したところ、バルクセラミックスで得られた残留分極値11.0μC/cm2を超える14.9μC/cm2が得られた。

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Preparation of BaTiO3-based thick films with c-axis-preferred orientation using screen printing2015

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sakai and Masatoshi Adachi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 号: 10S ページ: 10NA02-10NA02

    • DOI

      10.7567/jjap.54.10na02

    • NAID

      210000145763

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effects of NiO addition on (K,Na,Li)NbO3-BaZrO3-(Bi,Na)TiO3-based ceramics2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 9S ページ: 09PB07-09PB07

    • DOI

      10.7567/jjap.53.09pb07

    • NAID

      210000144493

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effects of Hexagonal BaTiO3 Addition on Textured BaTiO3 Thick Films Prepared by Screen Printing2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sakai and Tomoaki Futakuchi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 9S1 ページ: 09KA12-09KA12

    • DOI

      10.7567/jjap.52.09ka12

    • NAID

      210000142828

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Preparation of (K,Na,Li)NbO3-BaZrO3-(Bi,Na)TiO3 -based Thick Films2015

    • 著者名/発表者名
      坂井雄一、唐木智明、安達正利
    • 学会等名
      17th US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 発表場所
      ホテルブエナビスタ
    • 年月日
      2015-11-17
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] スクリーン印刷法による配向性BaTiO3系厚膜の作製2015

    • 著者名/発表者名
      坂井雄一、唐木智明、安達正利
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第28回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2015-09-01
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] スクリーン印刷法によるc軸優位配向BaTiO3系厚膜の作製2015

    • 著者名/発表者名
      坂井雄一、二口友昭、安達正利
    • 学会等名
      第32回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都
    • 年月日
      2015-05-10
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 印刷法による電子回路・部品の作製2015

    • 著者名/発表者名
      坂井雄一
    • 学会等名
      マッチングハブ金沢2015
    • 発表場所
      ANAクラウンプラザホテル金沢
    • 年月日
      2015-02-23
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] スクリーン印刷法による配向性BaTiO3厚膜の作製2014

    • 著者名/発表者名
      坂井雄一
    • 学会等名
      第18回日本セラミックス協会北陸支部秋季研究発表会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2014-11-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] スクリーン印刷法による(K,Na,Li)NbO3-BaZrO3-(Bi,Na)TiO3系厚膜の作製2014

    • 著者名/発表者名
      坂井雄一
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第27回シンポジウム
    • 発表場所
      鹿児島大学
    • 年月日
      2014-09-09
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] (K,Na,Li)NbO3-BaZrO3-(Bi,Na)TiO3系セラミックスにおける酸化物添加効果2014

    • 著者名/発表者名
      坂井雄一
    • 学会等名
      第31回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都
    • 年月日
      2014-05-31
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] スクリーン印刷法で作製した配向性BaTiO3厚膜における六方晶BaTiO3添加効果2013

    • 著者名/発表者名
      坂井雄一、二口友昭
    • 学会等名
      第30回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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