| 研究課題/領域番号 |
25870064
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
複合材料・表界面工学
ナノ材料化学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
小川 修一 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (00579203)
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| 研究協力者 |
山田 貴壽
尾白 佳大
唐 佳芸
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2013年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | CVD / グラフェン / Cu / 光電子分光 / 酸化 / 化学気相成長法 / グラフェン剥離 / Cu酸化物 / 熱CVD / 熱酸化反応 / リアルタイム光電子分光 |
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| 研究成果の概要 |
①グラフェンの耐酸化性能の確認と水蒸気を用いたCu酸化法の開発：乾燥O2分子を用いた基板酸化において、Cu基板と比較してグラフェン／Cu基板の表面酸化速度は著しく低下した。これはグラフェンがO2分子の拡散バリアとして働き、Cu基板へO2分子が供給できないことに起因すると考えられる。Cu基板の高速酸化のために、グラフェン/Cu基板を酸化させる手法としてO2分子ではなくH2Oを酸化種として用いることを提案した。
②Cu2O膜の炭素原子拡散阻止能の発見：グラフェン／Cu2O／Cu基板を真空中で加熱し、グラフェン膜厚とCu中の炭素濃度を調べた結果、Cu2O膜は炭素原子の拡散阻止能を持つことを発見した。
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