| 研究課題/領域番号 |
25870216
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
計測工学
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| 研究機関 | 明治大学 (2015)
東京工業大学 (2013-2014) |
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研究代表者 |
澤野 宏 明治大学, 理工学部, 講師 (40514295)
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| 研究期間 (年度) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2013年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | 形状計測 / 光プローブ / 水平分解能 / 集中照射 / 非点収差法 / 光線追跡法 / 計測工学 / レーザ / 光学シミュレーション |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，数10nmの高い水平分解能を有する光形状計測の実現を目的として，レーザの多方向からの集中照射による光形状計測システムを開発した．光学シミュレーションを行った結果，従来の光プローブと比較して，試料の形状に近い傾斜を持つ斜面が測定できており，従来の光プローブと比べて高い水平分解能を持つことを示した．また，原理確認実験の結果から，シミュレーションから決定したデータの処理方法により，形状の計測が可能であることを示した．以上の研究結果より，提案するレーザの多方向からの集中照射光プローブが水平分解能を向上させる方法として有効であることを示した．
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