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ZnO系ナノ粒子を用いた塗布型トランジスタ実現のための基礎的検討

研究課題

研究課題/領域番号 25870448
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 電子デバイス・電子機器
ナノ材料工学
研究機関島根大学

研究代表者

吉田 俊幸  島根大学, 総合理工学研究科(研究院), 助教 (50335551)

研究協力者 藤田 恭久  
篠原 風人  
糸原 大貴  
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2013年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワードZnOナノ粒子 / 塗布法 / p型伝導 / TFT / スプレー法 / 滴下法 / 電気伝導 / トランジスタ応用
研究成果の概要

ガス中蒸発法で作製したZnOナノ粒子をガラス基板上に塗布し,n型およびp型のZnO薄膜の形成に成功した。またこの塗布膜のみを用いてpn接合ダイオードや,n-チャネルおよびp-チャネル薄膜トランジスタ(TFT)を作製した。これは世界で初めての試みである。
これにより,従来の集積回路技術を活かしたまま,より幅広い基板材料や表面形状など,粒子層が形成可能なあらゆる場所へ電子回路を作り込めることを示した。また今回用いた粒子層の形成法は,滴下法,スプレー法,沈殿堆積乾燥法である。これらは設備投資や製造コストが極めて低い手法であり,全国に多数ある中小企業も参画できる技術である。

報告書

(4件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2016 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (10件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Effects of thermal pressing on ZnO nanoparticle layers deposited by drop casting2016

    • 著者名/発表者名
      Yoshida Toshiyuki, Kazato Shinohara, Daiki Itohara, and Yasuhisa Fujita
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 未定

    • NAID

      130005153636

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Realization of thin-film-transistors with channel regions formed by sprayed n-type and p-type ZnO nano particle layers2015

    • 著者名/発表者名
      Daiki Itohara, Toshiyuki Yoshida, and Yasuhisa Fujita
    • 学会等名
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015)
    • 発表場所
      Toyama, JAPAN (Toyama International Conference Center)
    • 年月日
      2015-11-10
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 滴下法により形成したZnOナノ粒子層のMES-FET応用のための基礎的検討2015

    • 著者名/発表者名
      篠原風人,糸原大貴,吉田俊幸,藤田恭久
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      (平塚市)東海大学
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 塗布法による酸化亜鉛ナノ粒子層pn接合の作製と評価2015

    • 著者名/発表者名
      糸原大貴,篠原風人,吉田俊幸,藤田恭久
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      (平塚市)東海大学
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] エアブラシを用いた塗布法により作製した酸化亜鉛ナノ粒子層の電気伝導特性の評価2014

    • 著者名/発表者名
      糸原大貴,篠原風人,吉田俊幸,藤田恭久
    • 学会等名
      第16回IEEE広島支部学生シンポジウム
    • 発表場所
      (広島市)広島市立大学
    • 年月日
      2014-11-15 – 2014-11-16
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] エアブラシを用いた塗布法によるn型およびp型酸化亜鉛ナノ粒子層の作製と評価2014

    • 著者名/発表者名
      糸原大貴,篠原風人,吉田俊幸,藤田恭久
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      (札幌市)北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ZnOナノ粒子を用いたトランジスタ作製技術の基礎研究2014

    • 著者名/発表者名
      篠原風人,糸原大貴,吉田俊幸,藤田恭久
    • 学会等名
      2014年度応用物理学会中国四国支部 若手半導体研究会
    • 発表場所
      (松江市)レインボープラザ
    • 年月日
      2014-07-26 – 2014-07-27
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] エアーブラシを用いた吹付け法による酸化亜鉛粒子層の作製と評価2014

    • 著者名/発表者名
      糸原大貴,篠原風人,吉田俊幸,藤田恭久
    • 学会等名
      2014年度応用物理・物理系学会中四国支部合同学術講演会
    • 発表場所
      (松江市)島根大学
    • 年月日
      2014-07-26
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 薄膜トランジスタ応用を目指したn型酸化亜鉛ナノ粒子層の作製と評価2014

    • 著者名/発表者名
      篠原風人,糸原大貴,吉田俊幸,藤田恭久
    • 学会等名
      2014年度応用物理・物理系学会中四国支部合同学術講演会
    • 発表場所
      (松江市)島根大学
    • 年月日
      2014-07-26
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 滴下法により形成した酸化亜鉛ナノ粒子層の電気的特性評価2014

    • 著者名/発表者名
      篠原風人,糸原大貴,吉田俊幸,藤田恭久
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学 (神奈川県 相模原市)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 塗布法による酸化亜鉛ナノ粒子層の作製2013

    • 著者名/発表者名
      篠原風人,糸原大貴,吉田俊幸,藤田恭久
    • 学会等名
      第15回IEEE広島支部学生シンポジウム
    • 発表場所
      鳥取大学 (鳥取県 鳥取市)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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