| 研究課題/領域番号 |
25886003
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| 研究種目 |
研究活動スタート支援
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
猪股 直生 東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 助教 (40712823)
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| 研究期間 (年度) |
2013-08-30 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2014年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2013年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | MEMS / 熱センサ / 半導体 / マイクロ・ナノデバイス / マイクロマシン / バイオテクノロジー |
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| 研究成果の概要 |
本研究は，ピコジュールの熱分解能を有する熱量センサの開発が目的であった．高感度化のためには小型化が課題である．微細加工技術によってそれが可能であるpn接合による電気抵抗の温度依存性を計測原理として用いた．マイクロ流体チップ内の真空領域にpn接合熱センサを組み込むデバイスの加工工程の確立と，作製したデバイスの評価を行った．作製したデバイスの熱分解能は31.3nJであった．電子線描画を用いることで更なる小型化が可能で，原理的には熱分解能も3桁改善することができる．以上よりpn接合部の電気抵抗値温度依存性を用いて，サブpJの熱分解能を有する熱センサの実現可能を示すことができた．
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