| 研究課題/領域番号 |
25H00702
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 北海道大学 |
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研究代表者 |
清水 裕樹 北海道大学, 工学研究院, 教授 (70606384)
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| 研究期間 (年度) |
2025-04-01 – 2029-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2025年度)
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| 配分額 *注記 |
46,540千円 (直接経費: 35,800千円、間接経費: 10,740千円)
2025年度: 16,510千円 (直接経費: 12,700千円、間接経費: 3,810千円)
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| キーワード | 超精密計測 / 生産工学 / 加工学 / 角度センサ / フェムト秒レーザ |
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| 研究開始時の研究の概要 |
ナノメートル超級の加工精度実現が視野に入りつつある次世代の超精密ものづくりに必須となる超精密計測基盤確立を目的として，スケールの全6自由度絶対位置・角度を一括計測する新学理を構築する．精密計測の基本である「アッベの原理」を満たした形態で，単一測定点での3軸絶対位置および3軸絶対角を高精度一括検出するとともに，スケールのピッチ（目盛）校正も行う計測・校正一体型「その場自律校正体系」を確立し，完全6自由度精密絶対スケールを実現する．
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