中圧低温プラズマ局所温度・ガス流れ場の学理構築によるナノ構造膜の完全形態制御

• 研究課題/領域番号: 25K00994
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分14030:プラズマ応用科学関連
• 研究機関: 名城大学
• 研究代表者: 内田 儀一郎 名城大学, 理工学部, 教授 (90422435)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 採択 (2025年度)
• 配分額: 18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円); 2027年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円); 2026年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円); 2025年度: 11,050千円 (直接経費: 8,500千円、間接経費: 2,550千円)