| 研究課題/領域番号 |
25K01131
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
秦 誠一 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (50293056)
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| 研究分担者 |
櫻井 淳平 名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (40345385)
岡 智絵美 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (70823285)
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| 研究期間 (年度) |
2025-04-01 – 2029-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2025年度)
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| 配分額 *注記 |
18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円)
2028年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2027年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
2026年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2025年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
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| キーワード | 接合 / 表面活性化接合 / 高速原子ビーム / プラズマ / 微粒子 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究では，表面活性化接合に用いられる高速原子ビーム（以下，First Atom Beam: FAB）源の大きな問題点である微粒子の生成と排出メカニズムを解明するとともに，その内部のプラズマ生成状態を解析する．これによりFAB源からの微粒子の排出メカニズムに基づき，微粒子の排出を抑制した，より効率的で長寿命のFAB源は実現可能か？を研究課題の核心をなす学術的「問い」として，以下の研究を進める．
１）FAB源からの微粒子排出をインプロセスで観察，計測するシステムの確立
２）FAB源内の微粒子の生成と排出メカニズムの解明
３）従来と同等以上の性能で10倍以上長寿命，微粒子排出1/10以下のFAB源の実現
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