研究課題
基盤研究(B)
ネオジム磁石に準ずる残留磁束密度を有するバルクのFePt磁石は,引張強度はバルクNdFeB磁石に比べ一桁上,ポリシリコンと同等,ヤング率はシリコンよりも数分の1と,強くかつ柔軟な材料である.磁石と構造材料の両方の優れた特性を有するFePt厚膜磁石を活用した新しい磁気MEMSデバイスを提案・設計・試作し,機能をデモンストレーションすることで,FePt厚膜磁石の磁気MEMS用材料としての可能性や有用性を示すことを目的とする.