研究課題
基盤研究(B)
本研究は、熱膨張制御が求められる電子基板向けに、ZrO2系低熱膨張ガラス材料の開発を目的としている。既存のSiO2系ガラスより優れた熱機械特性を持つ材料を、独自のスラリーコンビナトリアル法とマイクロウェルを組み合わせたハイスループット実験で探索する。Zr(AO4)m組成を基本に、Aサイトイオン種、Zr/A比、Na添加量を変化させ、多数の試料を自動測定・解析することで、構造-物性相関を明確化し、低熱膨張または負熱膨張特性を持つ新規材料を創出する。